一、簡(jiǎn)介

KLA的探針式臺(tái)階儀Alpha-Step D-600，可精確測(cè)量納米級(jí)至1200um臺(tái)階高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應(yīng)力，集高測(cè)量精度、多功能性和經(jīng)濟(jì)性于一體，是生產(chǎn)線及材料分析等應(yīng)用領(lǐng)域的理想選擇。因其具有5.0A (1σ)或0.1%臺(tái)階高度重復(fù)性以及亞埃級(jí)的分辨率。

二、 功能

設(shè)備特點(diǎn)

·臺(tái)階高度：幾納米至1200μm

·低觸力：0.03至15mg

·視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭

·梯形失真校正：消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真

·圓弧校正：消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差

·緊湊尺寸：占地面積小的臺(tái)式探針式輪廓儀

·軟件：用戶友好的軟件界面

主要應(yīng)用

·臺(tái)階高度：2D臺(tái)階高度和3D臺(tái)階高度

·紋理：2D粗糙度和波紋度

·形式：2D翹曲和形狀

·應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力

 應(yīng)用領(lǐng)域

·大學(xué)，研究實(shí)驗(yàn)室和研究所

·半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體

·SIMS：二次離子質(zhì)譜

·LED：發(fā)光二極管

·太陽能

·MEMS：微電子機(jī)械系統(tǒng)

·汽車

·醫(yī)療設(shè)備

三、應(yīng)用

·臺(tái)階高度

Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測(cè)量從幾個(gè)納米到1200μm的2D和3D臺(tái)階高度。 這使其可以量化在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。Alpha-Step系列具有低觸力功能，可以測(cè)量如光刻膠的軟性材料。

·紋理：粗糙度和波紋度

Alpha-Step D-600測(cè)量2D和3D紋理，量化樣品的粗糙度和波紋度。 軟件過濾功能將測(cè)量值分離為粗糙度和波紋度的部分，并計(jì)算諸如均方根（RMS）粗糙度之類的參數(shù)。

·外形：翹曲和形狀

Alpha-Step D-600可以測(cè)量表面的2D形狀或翹曲。這包括對(duì)晶圓翹曲的測(cè)量，例如在半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中，多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配是導(dǎo)致這類翹曲產(chǎn)生的原因。 Alpha-Step還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。

·應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力

Alpha-Step D-600能夠測(cè)量在生產(chǎn)包含多個(gè)工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置精確測(cè)量樣品翹曲。 然后通過應(yīng)用Stoney方程，利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計(jì)算應(yīng)力。