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上海艾時微技術開發(fā)有限公司

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上海艾時微技術開發(fā)有限公司
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晶圓幾何參數測試儀（高精度）

產品二維碼
參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 產品型號：
  • 品牌：
  • 產品類別：其他
  • 所在地：
  • 信息完整度：
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  • 更新時間：2024-07-02 10:04:05
  • 瀏覽次數：38
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上海艾時微技術開發(fā)有限公司

其他

  • 經營模式：其他
  • 商鋪產品：39條
  • 所在地區(qū)：
  • 注冊時間：2024-07-02
  • 最近登錄：2024-07-02
  • 聯(lián)系人：王先生
  • 電    話：16621050624

產品簡介

MX10 Series是采用電容/共焦探頭測量晶圓厚度、TTV等幾何特性的高精度晶圓測量系統(tǒng)。

詳情介紹

MX1012

電容式傳感器Capacitive Sensors

晶圓尺寸Wafer Size：200mm/300mm

精度Accuracy：±0.1 µm

分辨率Resolution：10nm


MX1014

光譜共焦傳感器Chromatic low spot size (~4µm) sensors

晶圓尺寸Wafer Size：300mm

厚度準確性Thickness Precision: < 100 nm (1 sigma)

TTV精度TTV accuracy: ± 20 nm 


Waferstudio-300mm-silicon-thickness-backside-grinded-7to5.png

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