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一、簡介

Profilm3D是一款兼具垂直掃描干涉 (VSI)和高精確度相移干涉 (PSI) 技術(shù)的經(jīng)濟(jì)型光學(xué)輪廓儀，其可以用于多種用途的高精度表面測量。

Profilm3D光學(xué)輪廓儀具有以下優(yōu)點(diǎn)：

      ?   價(jià)格優(yōu)勢：市場上性價(jià)比很高的白光干涉輪廓儀，具備價(jià)格優(yōu)勢的高精度輪廓儀；

      ?   快速測量大面積區(qū)域：測量范圍為毫米級別，配置XY樣品臺(tái)達(dá)100mm×100mm，可實(shí)現(xiàn)大面積樣品的輕松測量；

?   簡單易用：只需將樣品放置于樣品臺(tái)上，即可直接進(jìn)行測量；

?   可以測量非接觸式非平坦樣品：由于光學(xué)輪廓測量法是一種非接觸式技術(shù)，可以輕松測量彎曲和其他非平面表面。還輕松地測量曲面的表面光潔度，紋理和粗糙度。除此之外，作為一種非接觸式方法光學(xué)輪廓儀不會(huì)像探針式輪廓儀那樣損壞柔軟的薄膜。

?   無需更換耗材：只需要一個(gè)LED光源，無需其他配件更換；

?   可視化3D功能：Profilm 3D輪廓儀具有強(qiáng)大的處理軟件，軟件除包括表面粗糙度，形狀和臺(tái)階高度的測量外，還可以任意角度移動(dòng)樣品量測三維圖形，多角度分析樣品圖像。

適用于各類樣品：Profilm 3D輪廓儀適用于各類金屬、非晶硅和多晶硅、陶瓷材料、電介質(zhì)、硬質(zhì)涂層、高分子聚合物、光刻膠等的表面輪廓及粗糙度等測量。

Profilm3D光學(xué)輪廓儀功能：

?   用于測量粗糙度

使用Profilm 3D輪廓儀可以以秒為單位測量表面紋理，光潔度和粗糙度，只需單擊鼠標(biāo)即可完成。Profilm3D采用白光干涉測量（WLI）和相移干涉測量（PSI）等行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)，可快速測量大面積2D區(qū)域的粗糙度和紋理，無需接觸樣品。

?   測量曲面樣品

由于Profilm 3D是一種非接觸式技術(shù)，因此可以輕松測量彎曲和其他非平面表面。另外在測量方法中添加形狀去除（也稱為形狀去除）和過濾，即可輕松實(shí)現(xiàn)表面光潔度，紋理和粗糙度的測量！

?   任何粗糙度參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)

Profilm 3D擁有47個(gè)ASME / EUR / ISO粗糙度參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。可以在結(jié)果中顯示其中的任何一個(gè)或全部，從而使自定義報(bào)告變得輕而易舉。符合ISO 9000和ASME B46.1標(biāo)準(zhǔn)，ISO現(xiàn)在支持測量表面粗糙度的光學(xué)方法。特別是，ISO 25178第604部分描述了Profilm3D的WLI方法（其中也稱為相干掃描干涉測量法）。

二、主要功能

l  主要應(yīng)用

臺(tái)階高度

表面粗糙度

線寬及輪廓

l  技術(shù)能力

厚度范圍，VSI  50nm-100mm

厚度范圍，PSI  0-3 µm

樣品反射率范圍 0.05%-99%

Piezo范圍 500 µm

XY平臺(tái)范圍100mm × 100mm（可選200×200mm）

三、應(yīng)用

臺(tái)階高度、表面形貌、表面粗糙度、大面積拼接等