催化燃燒過程是在催化燃燒裝置中進行的。廢氣先通過熱交換器預熱到200～400℃，再進入燃燒室，通過催化劑床時，碳氫化合物的分子和混合氣體中的氧分子分別被吸附在催化劑的表面而活化。由于表面吸附降低了反應的活化能，碳氫化合物與氧分子在較低的溫度下氧化，產生二氧化碳和水。
VOCs催化燃燒設備
VOCs催化燃燒設備種類繁多，在加油站、裝修、餐飲、干洗、噴涂、化工等行業使用廣泛。當前VOCs廢氣燃燒設備處理方法有數十種，VOCs的末端處理技術包含兩類，一類是非破壞性方法，即采用物理方法將VOCs回收；二類是通過生化反應將VOCs氧化分解為沒毒或低毒物質的破壞性方法。具體方法上，前者包括冷凝法、吸附法、吸收法和燃燒法。后者有生物法、膜技術、光催化降解和等離子技術。
為了提高熱利用效率，降低設備的運行費用，近年來發展了蓄熱式熱力焚燒技術（RTO）和蓄熱式催化燃燒技術（RCO）。
VOCs催化燃燒設備成套裝置包括：
一、廢氣洗滌塔：
廢氣洗滌塔一般為立式噴淋洗滌填料塔，內部噴頭和填料層交替分布。填料具有較大的比表面積，用于增加兩種流體間的接觸面積。廢氣由底部進入，經填料層和除霧器后，由頂部排出。液體被水泵送到噴頭噴出，向下降落，經填料層回到水箱。廢氣中的雜質粘附在填料上，后在水流作用下進入水箱，達到截留目的。水箱中的雜質需定期清理，污水需定期排放。
二、光解式催化燃燒設備：
通過破壞、、催化氧化把污染氣體為無味氣體。C波段光線強裂污染氣體分子鏈，改變物質分子結構，將高分子污染物質裂解、氧化成為低分子物質，如水和二氧化碳等。通俗的講光催化氧化就是在外界可見光的作用下發作催化作用，光催化氧化反應是以半導體及空氣為催化劑，以光為能量，將物降解為CO2和H2O及其它成份。
三、催化燃燒處理工藝前處理系統通常選用前處理器、水簾式凈化器、噴淋凈化器、除塵器、除塵器等配套凈化設備及附件。在廢氣處理中通常會有顆粒物、漆霧、重金屬、鹵素化合物等混合物。因此，在廢氣凈化之前應把這些混合物進行嚴格凈化。
四、催化燃燒床：由電加熱室、催化室、熱交換器、阻火器、溫度探測器、電動閥門、保溫管道組成。利用電加熱器來加熱生產線產生的廢氣，使廢氣在催化劑作用下于280℃-300℃左右轉化為co2和h2o并釋放大量熱，然后通過熱交換器對熱量再利用。
五、控制系統：由plc電控柜、溫度顯示儀表、電動閥門執行器及面板模擬流程圖等組成。
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