實現(xiàn)非接觸,高速和高精度測量
LSM-506S, LSM-512S, LSM-516S
544 系列 — 高精度非接觸測量系統(tǒng)
特點: LSM-506S
•多用途型,測量范圍從1mm - 60mm。
•高測量精度,在全測量范圍內(nèi)達±3µm,
在窄測量范圍內(nèi)達 ±(1.5+0.5?D)µm高測量
精度。
•高重復(fù)精度達±0.36µm。
特點: LSM-512S
•多用途型,測量范圍從1mm - 120mm。
•高測量精度,在全測量范圍內(nèi)達±6µm,
在窄測量范圍內(nèi)達 ±(4.0+0.5?D)µm高測量
精度。
•高重復(fù)精度達±0.8µm。特點: LSM-516S
•多用途型,測量范圍從1mm - 160mm。
•高測量精度,在全測量范圍內(nèi)±7µm,
在窄測量范圍內(nèi)達 ±(4.0+2?D)µm高測量
精度。
•高重復(fù)精度達±1.4µm。













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