實(shí)現(xiàn)非接觸,高速和高精度測量
LSM-500S, LSM-501S, LSM-503S
544 系列 — 高精度非接觸測量系統(tǒng)
特點(diǎn) : LSM-500S
•可測量直徑小至 ø5µm。
•超高測量精度,在全測量范圍 (5µm-2mm),
內(nèi)直線度達(dá) ±0.3µm。
•超高重復(fù)精度達(dá) ±0.03µm。
特點(diǎn) : LSM-501S
• 超高測量精度,在全測量范圍(0.05mm-10mm)
內(nèi)達(dá) ±0.5µm,窄測量 范圍內(nèi)達(dá) ±(0.3+0.1?D)µm。
• 超高重復(fù)精度達(dá) ±0.05µm。
特點(diǎn) : LSM-503S
•多用途型, 測量范圍從 0.3mm - 30mm。
•高測量精度, 在全測量范圍內(nèi)達(dá) ±1.0µm,
在窄測量范圍內(nèi)達(dá) ±(0.6+0.1?D)µm高測
量精度。
•高重復(fù)精度達(dá) ±0.1µm。













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