多晶硅爐體盤結構，包括底盤本體，底盤本體為碗狀結構，底盤本體上設有沿底盤本體分布的冷卻液腔，底盤本體下端外側設有與冷卻液腔連接的冷卻液進口，底盤本體上端外側設有與冷卻液腔連接的冷卻液出口，碗狀結構的底盤本體開口向外延伸形成法蘭連接面，底盤本體中心設有進氣口，進氣孔與進氣管連接；底盤本體內中心設有兩端開口的支撐蓋，支撐蓋側面設有多個出風口；底盤本體進氣口正上方設有配風罩，配風罩上均勻地設有多個貫通配風孔，具有冷卻效果好的優點，不同硅棒之間的一致性好，硅棒生長質量控制好。

多晶硅爐體盤的工作原理：將多晶硅材料放入涂有涂層的氰鉻合金中，置于定向凝固塊上；關閉爐孔后，真空并加熱。硅材料熔化后，保溫籠緩慢向上提升，硅材料結晶過程中釋放的熱量通過定向凝固塊輻射到下部爐腔內壁，從而在硅材料中形成垂直溫度梯度。這種溫度梯度導致站耳蝸中的硅液從底部凝固，并從熔體底部向頂部生長。硅材料凝固后，硅錠經退火冷卻后排出，完成整個鑄錠過程。

熱場是多晶硅爐體盤的核心，多晶硅鑄造和鉆孔爐配有石墨加熱器、隔熱層、發紺耳蝸和硅材料。多晶硅的生產過程必須通過調節加熱室來實現。因此，多晶硅爐體盤加熱室的結構設計十分重要。