三維表面形貌儀 采用了上等光學(xué)系統(tǒng),可通過(guò)非破壞觀察法生產(chǎn)高畫質(zhì)的圖像并進(jìn)行**的3D測(cè)量,可以滿足不同樣品的觀測(cè)需求

三維表面測(cè)量?jī)x輪廓儀臺(tái)階儀(納米級(jí))NanoFocus2000是用于表面結(jié)構(gòu)測(cè)量和表面形貌分析的一款檢測(cè)設(shè)備

采用垂直掃描白光干涉和移相干涉技術(shù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品表面粗糙度、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征的納米級(jí)三維精密測(cè)量。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝、航空航天、太陽(yáng)能電池工藝、材料表面工程、MEMS、超精密加工等領(lǐng)域。

三維表面測(cè)量?jī)x輪廓儀臺(tái)階儀(納米級(jí))NanoFocus2000產(chǎn)品特點(diǎn)：

測(cè)量精度重復(fù)性達(dá)到世界較高水平

關(guān)鍵硬件采用美國(guó)、德國(guó)、日本等

配備進(jìn)口第三方校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)件

高性價(jià)比微觀形貌測(cè)量設(shè)備

迅捷、高效的上等售后服務(wù)

覆蓋范圍廣

兼容多種測(cè)量和觀察需求

保護(hù)性

非接觸式光學(xué)干涉測(cè)量

可操作性

“一鍵式”操作更簡(jiǎn)單、高效

智能化

特殊形狀智能計(jì)算特征參數(shù)

個(gè)性化

定制化測(cè)試報(bào)告

NanoFocus2000三維表面微觀形貌檢測(cè)儀主要由精密載物臺(tái)、照明系統(tǒng)、光學(xué)干涉成像系統(tǒng)、實(shí)現(xiàn)移相運(yùn)動(dòng)的微位移系統(tǒng)、圖像采集系統(tǒng)及圖像數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等組成。整個(gè)檢測(cè)儀放置在氣浮抗振平臺(tái)上。載物臺(tái)用于安放被測(cè)件，同時(shí)通過(guò)傾斜和XY二維平移調(diào)整使被測(cè)面**定位于感興趣的區(qū)域；光源及照明系統(tǒng)提供給被測(cè)面均勻又充分的反射式照明；干涉成像系統(tǒng)采用Mirau干涉物鏡結(jié)構(gòu)獲取被測(cè)表面干涉圖像；采用壓電陶瓷傳感器（PZT）實(shí)現(xiàn)微位移控制；通過(guò)CCD與自主開發(fā)的軟件系統(tǒng)采集并處理干涉圖像，獲得被測(cè)面的相位信息進(jìn)而得到表面輪廓。

三維表面測(cè)量?jī)x/三維表面形貌儀NanoFocus2000(納米級(jí)) 主要指標(biāo)：

?    CCD分辨率：像素1280x960

?    測(cè)試模式：PSI + VSI 檢測(cè)模式

?    縱向分辨率：＜0.1nm 

?    RMS重復(fù)性：＜0.01nm，1σ

?    臺(tái)階測(cè)量：準(zhǔn)確度≤0.75％

?    臺(tái)階高重復(fù)性≤0.1％，1σ

?    高清晰無(wú)限遠(yuǎn)成像系統(tǒng)，白光高效LED,光譜濾光

?    Nikon干涉物鏡配置2.5x，5x，10x，20x，50x

?    200mm手動(dòng)樣品臺(tái) （XY高精度）+ 傾斜±6°

三維表面測(cè)量?jī)x/三維表面形貌儀NanoFocus2000(納米級(jí)) 分析及控制軟件：

?    三維分析處理迅速，結(jié)果實(shí)時(shí)更新

?    縮放、定位、平移、旋轉(zhuǎn)等三維圖像顯示

?    自主設(shè)定測(cè)量閾值，三維處理自動(dòng)標(biāo)注

?    測(cè)量模式可根據(jù)需求自由切換

?    可創(chuàng)建簡(jiǎn)單工作流程，簡(jiǎn)化重復(fù)工作

?    三維圖像支持高清打印

?    可進(jìn)行軟件在線升級(jí)和遠(yuǎn)程支持服務(wù)

外形尺寸：

? 外形臺(tái)式：氣動(dòng)防震平臺(tái)

? 重量NanoFocus2000 ：130Kg

? 尺寸（高×寬×長(zhǎng)）： 800×490×480 （mm）

環(huán)境要求：

? 溫度：24℃ ± 2℃

? 溫度變化率：<2.0℃/30 分鐘

? 濕度相對(duì)濕度：10%—70%，無(wú)凝結(jié)

? 防震需要隔離：1—120Hz 的震動(dòng)

附件：

? 物鏡Nikon 干涉物鏡，20× (可選配2.5×，5×， 10×， 50×）

? 工作臺(tái)TMC 防震平臺(tái)（需要地面振動(dòng)環(huán)境達(dá)到VC-D 級(jí)別，無(wú)空氣流動(dòng)）

? 標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階塊臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)塊(選配，100nm、1um、5um、10um、25um)