Werth測量機的測量范圍從幾十個毫米到數米，精度從幾個微米到百個納米，測量分辨率到達1個納米，可以集成進去使用的測量傳感器：接觸式單點、接觸式掃描、低接觸力測頭、激  光、激光線掃描、快速激光、WERTH光纖側頭，WERTH光學測頭、普通光學測頭、可見光干涉測頭、接觸式和激光復合的粗糙度測頭，WERTH CT (X 光高精度)測頭等十多種。

應用優點: 
 
◆  圖象處理測量，接觸式測量和激光測量集成在一個三座標測量機中
◆  以可視的方式監控激光測量
◆  不損失測量范圍，激光傳感器集成到圖象處理傳感器中
◆  光斑很小，可以測量很小的細節(在WLP 10x的情況下為3µm)
◆  垂直的激光光路，可以測量很小的孔
◆  自動的光強調節和智能的軟件，容易地測量不同的表面
技術數據：

◆  的測量速度 1米/秒 (Inspector FQ ®)
◆  采樣頻率：5000 點/秒
◆  分辨率：0.1 µm
◆  接觸精度 MPE*
 使用Werth Zoom WLP
◆  單點測量：
      P1Z：2.5 µm  
◆  掃描：
      THP1Z：3.5 µm  
  使用2.5x 光學鏡頭的WLP
◆  單點測量：
      P1Z：2.5 µm  
◆  掃描：
      THP1Z：3.5 µm  
  使用5x 光學鏡頭的WLP
◆  單點測量：
      P1Z：1.0 µm  
◆  掃描：
      THP1Z：1.5 µm  
  使用10x 光學鏡頭的WLP
◆  單點測量：
      P1Z：0.75 µm  
◆  掃描：
      THP1Z：1.0 µm  
◆  測量原理: Foucault edge
 
* 使用Werth標準體，依據ISO 10360和2617。
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