產品詳情

GM-NSD-02是一款低能耗的硅基微熱板，可用于微型氣體傳感器或其他加熱型器件的研發。

GM-NSD-02包含有兩組焊點，一組為加熱絲的引出，一組為插齒狀測試電極。GM-NSD-02可耐受約700℃的熱處理，在經受熱處理之后仍可引線邦定，但加熱絲的阻值會有所上升，金屬的表面光澤度會有所降低。

傳感器特點

1、微熱板采用MEMS工藝制作，為金屬氧化物半導體氣體傳感器提供了一個可靠的平臺，能耗低、加熱響應快。

2、微熱板采用懸膜式結構，包含一層堅韌的二氧化硅膜，里層包覆S型鉑作為加熱絲為金屬氧化物提供合適的工作溫度。微熱板的使用溫度高達400℃，同時可根據鉑的電阻溫度系數計算核心區的溫度其熱響應時間只有數毫秒。

主要應用

可用于微型氣體傳感器或其他加熱型器件的研發

技術指標

關鍵參數

尺寸：1.0×1.0×0.3mm

 加熱絲材料：鉑

冷態阻值：85Ω±10%

熱響應時間：<10ms

工作電壓：<4V

失效電壓：≈5V

GM-NSD-02的芯片尺寸為：1.0×1.0×0.3mm，其中加熱區的面積為0.3×0.3mm，懸膜的尺寸為0.6×0.6mm