VCSEL（Vertical Cavity Surface Emitting Laser，垂直共振腔表面放射激光）技術目前在在人臉識別、3D感測、汽車自駕駛、手勢偵測和VR(虛擬現實)/AR(增強現實)/MR(混合現實等應用領域越來越受到關注，萊森光學®可以為客戶提供VCSELVCSEL-3D SENSING/TOF檢測解決方案：LIV光譜/功率積分測試、NF近場特性測試、FF遠場特性測試、BRDF/BTDF光學材料AR/VR特性測試、VCSEL專用積分球,實現對VCSEL單體、模組、及晶圓芯片的能量分布和均勻性測量、光譜波長及功率測量、近場遠場測量等各種定制化應用需求。
VCSEL-LIV-NF-FF自動化在線晶圓機由萊森光學專門針對基于6寸 VCSEL晶圓得LIV光譜測試/NF近場測試/FF遠場測試研發而成，特別適合晶圓線上自動化測量。
主要技術特點
● 滿足ISO/IEC標準
● 晶圓支持6寸
● 支持脈沖和CW模式
NF近場測試
主要技術指標
項目 |
| 規格 | 單位 |
晶圓參數 | 晶圓尺寸 | ≤6 | inch |
晶圓厚度 | 100~3,000 | μm | |
晶圓曲度 | ≦10 | mm | |
芯片尺寸 | 150~3,000 | μm | |
襯底尺寸 | ≧50 | μm | |
光功率 | 0.1~10,000 | mW | |
波長 | 800~1,100 | nm |
LIV-NF-FF | LS-LIV-1000 | LS-NF-2000 | LS-FF-3000 |
測量能力 | LIV和光譜功率測量 | 近場測試 | 遠場測試 |
LIV，Leakage current漏電流，Ith閾值電流，Kink，中心波長（λc），峰值波長（λp），FWHM半高寬 | 光斑大小、橢圓度、發散角、功率分布等 | 斑發散角、能量空間分布、光斑準直度、對稱度（IEC60825-2） | |
溫控能力 | 5-85℃（標準）， | ||
電流源通道選擇 | 取決于DUT結構，可由PXI基礎配置 | ||
測量方法 | 雙極，25W /通道，4線，CW和QCW | ||
電壓范圍 | ±100mV, ±300mV, ±600mV；±1V, ±3V, ±6V, ±10V, ±15V, ±30V, | ||
電流范圍 | ±3.5A(≦5V), ±2.5A(≦10V), ±1A, ±100mA, ±10mA, ±1mA, ±100uA, ±10uA, ±1uA | ||
電流脈沖寬度 | >100 μs | ||
脈沖占空比 | 20％ | ||
光學測試模塊 | 帶標定積分球和光譜儀 | 帶自動對焦顯微鏡系統的CCD攝像頭 | 高速CCD攝像頭/標準板 |
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