說明： 

Formtracer Extreme (超級表面粗糙度/ 輪廓測量裝置)SV-C3000CNC / SV-C4000CNC

基本技術參數:

基座尺寸 (W x H): 750 x 600mm

基座材料: 花崗巖

重量: 240kg, 250kg (高立柱型)

電源: 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz

能耗: 500W (主機)

輪廓測量技術參數:

X1 軸

測量范圍: 200mm

分辨率: 0.05μm

檢測方法: 反射型線性編碼器

驅動速度: 200mm/s (CNC)

0 - 60mm/s (操縱桿)

測量速度: 0.02 - 2mm/s

移動方向: 向前／向后

直線度: 2μm/200mm

* 以X 軸為水平方向上

　指示精度: ±(1+0.02L)μm,

　 (20° C 時) * L 為驅動長度(mm)

a 軸

傾角: -45° 至 +10°

分辨率: 0.000225°

旋轉速度: 1rpm

Z2 軸 (立柱)

垂直移動: 300mm 或 500mm

分辨率: 0.05μm

檢測方法: 反射型線性編碼器

驅動速度: 200mm/s (CNC)

0 - 60mm/s (操縱桿)

Z1 軸 (檢測器)

測量范圍: ±25mm

分辨率: 0.2μm (SV-C3100CNC),0.05μm (SV-C4100CNC)

檢測方法: 線性編碼器 (SV-C3100CNC),

激光全息測微計 (SV-C4100CNC)

直線位移: ± (3+I2HI/25)μm (SV-C3100CNC)

精度 (20° C 時) ± (0.8+I0.5HI/25)μm (SV-C4100CNC)

*H 為基于水平位置的測量高度 (mm)

測針上／下運作: 弧形移動

測針方向: 向下

測力: 30mN

跟蹤角度: 向上: 70° , 向下: 70°

(根據表面粗糙度，使用標準單切面測針)

測針針尖 半徑: 25μm、硬質合金