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說明： 

技術參數

觀察圖像: 正像

光管: Siedentoph 型 (可調瞳距：51 -76mm), 1X 光管鏡頭、雙目目鏡( 俯角：30o),十字投影法、帶有TV 插板、光通比、(目鏡/TV 插板：50/50)

目鏡 : 10X (視場直徑：24mm),

可選: 15X, 20X

轉盤 (選件): 手動或電動旋轉盤

物鏡 (選件): 從1X - 100X 的M/BD Plan Apo 物鏡

(詳見384 頁)

輪廓照明

光源: 鹵素燈泡(12V, 50W)

光學系統: 帶有可調整光圈的遠心照明系統

功能: 光強度可調、無級亮度調整

表面照明

光源: 鹵素燈泡照明選件(光纖冷光照明)

光學系統: 帶有可調整光圈的科勒照明系統

功能: 光強度可調、無級亮度調整

顯示裝置:

軸數: 2 軸或3 軸

分辨率: 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm/

.0001" / .00005" / .00001"

功能: 調零、方向轉換、

數據輸出(通過 RS-232C 接口)

電源: 100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz

重量 65.5kg (505B, 1010B),

69.5kg (2010B),

130kg (2017B),

138kg (3017B),

144kg (4020B)

性能參數

型號 (XY 工作臺尺寸) 505B 1010B 2010B 2017B 3017B 4020B

貨號MF-UA 176-567* 176-568* 176-569* 176-570* 176-571* 176-572*

MF-UB 176-587* 176-588* 176-589* 176-590* 176-591* 176-592*

MF-UC 176-573* 176-574* 176-575* 176-576* 176-577* 176-578*

MF-UD 176-593* 176-594* 176-595* 176-596* 176-597* 176-598*

XY 工作臺移動范圍50 x 50mm 100 x 100mm 200 x 100mm 200 x 170mm 300 x 170mm 400 x 200mm

Z 軸移動范圍150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm

調焦方式手動調焦(粗調焦：10mm/rev、微調焦：0.1mm/rev)

測量方法線性編碼器(2 軸型：X / Y 軸、3 軸型：X / Y / Z 軸)

分辨率 (可轉換) 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm / .0001" / .00005" / .00001"

測量精度(20oC 時) XY 軸：(2.5+0.02L)μm, L 無負載測量長度(mm), JIS B 7153

指示精度(20oC 時) Z 軸：(5+0.04L)μm, L 為測量長度(mm)

浮動功能帶有快速斷開功能的X 和Y 軸

XY 工作臺臺面尺寸280 x 280mm 280 x 280mm 350 x 280mm 410 x 342mm 510 x 342mm 610 x 342mm

載物玻璃有效尺寸180 x 180mm 180 x 180mm 250 x 150mm 270 x 240mm 370 x 240mm 440 x 240mm

旋轉功能— — — ±5o (左) ±5o (左) ±3o (左)

工件重量10kg 10kg 10kg 20kg 20kg 15kg

工件高度150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm

* 為區分交流電源電壓，在貨號后加上以下后綴(如：176-567A):

A 適于UL/CSA, D 適于CEE, E 適于BS, DC 適于中國、K 適于EK，無后綴適于JIS/100V