MX61A 自動化半導體檢查顯微鏡
產品特點:
• 具有能滿足靈活應對特定檢查需要的 Inspection-Engine 和高度解析需要的 Analysis-Engine 兩個可選控制器（Dual-Engine） 。
通過兩個控制器，根據半導體檢查或解析的需要，輕松實現靈活的自動化及需要的擴展工作
MX61A詳細規格:
| 光學系統 | UIS2光學系統（無限遠校正光學系統） |
| 照明系統 | 反射照明系統（視野數26.5） 12V100W鹵素燈（預定心型）明視野·暗視野分光鏡＋一個分光鏡組件 可用觀察法 ①反射明視野②反射暗視野③反射微分干涉④反射簡易偏光⑤反射熒光⑥反射IR⑦DUV觀察 |
| 鏡筒 | 超寬視野正象可傾斜式三目鏡筒（視野數26.5）MX-SWETTR（光路分割比率100:0、0:100、傾斜角度0º-42º） U-SWETTR-5（光路分割比率100:0、20:80、傾斜角度0º-35º） 紅外線用寬視野三目鏡筒（視野數22）U-TR30IR近紅外線觀察時使用 |
| 電動換鏡轉盤 | 明·暗視野微分干涉六孔電動轉盤: U-D6BDREMC 明·暗視野微分干涉五孔電動轉盤: U-D5BDREMC |
| 控制器 | 作業組件MX-OPU61A 為內置控制軟件的液晶觸摸屏 可以進行顯微鏡的各種操作、觀察條件設定 手動開關MX-HS61A 可以進行顯微鏡的各種操作（1JOG調焦旋鈕＋14操作按鈕）MX2-BSW 程序（為PC使用時）控制MX61A及周圍電動組件的應用程序軟件 OS(WindowsXP Professional)CPU(Pentium4, 2GHz以上)內存（512MB以上） |
| 載物臺 | 帶右手用同軸驅動旋鈕14×12英寸（對應300mm晶圓）載物臺MX-SIC1412R2 帶右手用同軸驅動旋鈕8×8英寸（對應200mm晶圓）載物臺MX-SIC8R2 驅動方式: 滾輪引導式滑動帶驅動（無架子） 離合機構: 2片離合板（由離合把手裹夾帶子/解除方式） 行程: MX-SIC1412R2 橫向356×豎向305mm MX-SIC8R 橫向210×豎向210mm..電動載物臺規格: 對應300mm/200mm晶圓 |
| 外形尺寸·質量 | 尺寸: 711（W）×853（D）×552（H）mm 質量: 約56kg（鏡體: 約31kg） 300mm的標準栽物臺搭載時的標準自動對焦規格 不含相機/選擇組件 |
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