大型紫外臭氧清洗機是一款采用抽屜式裝載基片的UV光清洗機，適用中大型基片等清洗，如液晶面板，ITO導電玻璃，晶圓，OLED，LCD，硅片，陶瓷，金屬片，聚合物，硅膠等表面清洗，用于清洗產品的表面有機物，即進行表面改質，從而獲得較好的親水性，可根據客戶要求進行客戶化設計。

大型紫外臭氧清洗機

產品配置

（01）整機采用不銹鋼304制作，關鍵元器件采用施耐德，歐姆龍等品牌；

（02）燈管：根據客戶需求定制燈管功率及尺寸，壽命5000小時；

（03）主要工作光譜：185nm+254nm；

（04）有效清洗面積：350*350MM，320*380MM或客戶需要尺寸；

（05）清洗時間控制器：0-99.99小時或分鐘；

（06）安全防護功能：當清洗腔門打開時，燈管自動熄滅；

（07）照射高度：可定制

（08）UV ON/OFF指示，異常指示/警報；

（09）燈管預熱：具燈管預熱提示功能，使清洗數據更精準；

（10）加熱（選配）：可選擇加配外置加熱平臺，溫度范圍：常溫-450攝氏度；

（11）排風功能：自帶臭氧排風系統，可分檔調節風速，8cm直徑出風口，配置風管及緊固件；

應用領域

■在進行薄膜沉積之前行基片清洗。清除浮渣和穩定化處理光刻膠。超高真空度密封。

■清洗硅芯片，透鏡，反光鏡，太陽能面板，冷軋鋼，慣性引導零件和 GaAs芯片

■清潔焊劑，混合電路以及平板LCD顯示器

■蝕刻特氟隆，氟橡膠以及其它有機材料

■增強GaAs 和Si氧化物鈍化表面

■增強玻璃的除氣作用

■基片藍膜去除

■增強塑料表面的鍍膜的粘附性

■基片終測后墨跡清楚

■去除光刻膠

■平板顯示器/液晶顯示器

■去除光刻機臺上的光刻膠殘留物

■在電路板封裝和打片之前清洗）

■光纖

■增強表面親水特性

■為生物科學應用做清洗和消毒

■光學透鏡