Microchem SU-8 2000系列 光刻膠 旋涂曲線：
Microchem SU-8 2000系列 光刻膠 產品規格：
Microchem SU-8 2000系列 說明書.pdf
武漢月憶神湖科技有限公司
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【Microchem SU-8 2000系列 光刻膠】是基于環氧型樹脂的負性光刻膠，在近紫外光范圍內吸收率低，具有較好的曝光均勻性；高深寬比：5:1，側壁垂直性好，光學透明，耐高溫，抗腐蝕；光源：Near UV (350-400nm)， 推薦i-Line，也可用于E-beam, X-ray。厚度范圍：0.5-650m，型號豐富，可根據不同的厚度要求選擇型號。
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