LAUDA-Noah POU熱電工藝過(guò)程恒溫器是用在半導(dǎo)體行業(yè)，提供從-20到90C的溫度控制

滿足苛刻的工藝過(guò)程快速和溫度控制

熱電在線使用(POU)溫度控制系統(tǒng)為等離子刻蝕工藝提供穩(wěn)定的溫度控制。系統(tǒng)動(dòng)態(tài)地控制靜電卡盤(ESC)的溫度并可以用在任何的刻蝕工藝中。LAUDA-Noah POU熱電溫度控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)是基于帕爾帖元件的溫度變化原理。這些原件可以實(shí)現(xiàn)快速且準(zhǔn)確的溫度控制，滿足了當(dāng)今生產(chǎn)尺寸越來(lái)越小器件的要求。

重要功能

低能耗沒(méi)有壓縮機(jī)和制冷劑的系統(tǒng)

工業(yè)領(lǐng)域占地小，如果放置到地板下方則沒(méi)有占地空間要求

極低的導(dǎo)熱液體填充量

標(biāo)配附件

帶有手動(dòng)泵的加液罐

選配附件

可以遠(yuǎn)程控制的通信模塊(RS-485通信協(xié)議)

LAUDA-Noah POU在線使用(POU)溫度控制系統(tǒng)與壓縮機(jī)系統(tǒng)相比可以節(jié)省到90%的能量。可選擇安裝在地板下面選項(xiàng)使系統(tǒng)的占地很小，節(jié)省了潔凈室的空間。