SC2020晶體管參數測試系統
SC2020晶體管參數測試系統系統概述
SC2020晶體管參數測試系統是我司自主研發的半導體分立器件電學參數測試的專用設備，主要用于半導體器件生產廠家進行圓片中測或封裝成測，各類整機廠家、科研院所的質量檢測部門IQC進行來料檢驗，研發部門進行失效分析、選型配對、可靠性分析測試。
系統為桌面放置的臺式機結構，由測試主機和程控電腦兩大部分組成。外掛各類夾具和適配器，還能夠通過Prober接口、Handler接口可選（16Bin）連接分選機和機械手建立工作站，實現快速批量化測試。通過軟件設置可依照被測器件的參數等級進行自動分類存放。能夠的應對“來料檢驗 "“失效分析 "“選型配對 "“量產測試 "等不同應用場景。
系統軟件基于Labview平臺開發，填充式菜單界面，帶自動糾錯功能，可進行器件參數的分檔、分類編程，并可實時顯示和記錄分檔、分類測試結果，測試結果和統計結果均可以EXCEL格式存貯于計算機中，根據需要可以打印輸出。
SC2020晶體管參數測試系統系統特點
◆ 系統采用大規模32位ARM&MCU設計
◆ 可測試7大類26分類的電子元器件
◆ 程控高壓源1400V，提供2000V選配
◆ 程控高流源40A，提供100A,200A,500A 選配
◆ 控制極電壓可達40V，電流可達100mA
◆ 系統數據采集采用16位ADC，1M/S采樣速率
◆ 測試漏流分辨率達1.5pA
◆ 四線開爾文連接保證加載測量的準確
◆ Prober接口、Handler接口可選（16Bin）
◆ 連接分選機可達測試量為每小時1萬個
◆ 可為用戶提供豐富的測試適配器
◆ 可選配測試結電容，諸如Ciss，Crss，Coss；
◆ 系統符合《GJB128半導體分立器件試驗方法》等相應的標及國際標準。
SC2020晶體管參數測試系統系統指標
?技術指標
| 系統功能模塊 | 量程 | 分辨率 | 精度 |
| 低壓源（FV） | 0～±40V | 1uV | ±0.1% |
| 低流源（FI） | 0～±100mA | 1pA | ±0.1% |
| 高壓源（HVS） | 0～±1400V/2000V | 1mV | ±0.5% |
| 高流源（HIS） | 0～±40A/100A/200A/500A | 1uA | ±1% |
| 電壓測量(MV) | 0～±1400V/2000V | 1uV | ±0.1% |
| 電流測量(MI) | 0～±40A/100A/200A/500A | 1pA | ±0.1% |
?測試能力
| 器件種類 | 測試參數 |
| 二極管類 (含TVS SBD ZENER整流橋) | BVR、IR、VF、VZ、RZ、ZZ、Vrrm、Irrm、Tr（選配） |
| 三極管 | BVCBO、BVCEO、BVCES、BVEBO、HFE、ICBO、ICEO、ICES、IEBO、VBESAT、VCESAT、VBE、選配（Ciss、Coss、Crss） |
| 可控硅/雙向可控硅 | IGT、VGT、VTM、VDRM、VRRM、IH、IL、IDRM、IRRM |
| 場效應管 | VGSTH、IDSS、BVDSS、VDSON、IGSS、VSD、VGSON、IDON、RDSON、GFS、選配（Ciss、Coss、Crss） |
| IGBT | BVCES、BVGES、ICES、IGES、VCESAT、VGETH、VCEON、VGEON、VF、ICON、選配（Ciss、Coss、Crss） |
| 壓敏電阻 | VRRM、VDRM、IRRM、IDRM、Cka |
| 光耦 | VF、IR、BVCEO、VF、IR、BVCEO、BVECO、ICEO、CTR、VCESAT、 選配（Tr、Tf） |
| 三/四端穩壓器 | Vout、Iin、IB、VD、Max_lo、Ro |
| 繼電器 | Vf、Ir、Vl、Il、Ift、Ron、選配（Ton、Toff） |
| 功率驅動器、 高邊功率開關 | Vbb(AZ)、Von(CL)、Rson、Ibb(off)、Il(lim)、Coss、Fun_pin_volt、lvs(off)、lvs(on)、Rson_h、Rson_l、lin、Iinh、ls_Volt、Sr_volt |
| 電壓保護器 | Vrrm、Vdrm、Irrm、Idrm、Cka、△Vr |
| 基準IC模塊 | Vref、 △Vref、lref、Imin、loff、Zka、Vka |
| 傳感監測類 | 電流傳感器（ACS712XX系列、CSNR_15XX系列）（選配）； 霍爾器件（MT44XX系列、A12XX系列）（選配）； 電壓監控器（選配）；電壓復位IC（選配）； |
SC2020晶體管參數測試系統測試原理
| 1）閾值電壓測試電路 | 2）集射極截止電壓/集射極截止電流測試電路 |
| 3）IGBT 飽和壓降/FRD 正向導通壓降測試電路 | 4）柵極漏電流測試電路 |
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