緊湊型表面測量專家在亞納米范圍內

測量解決方案，隨時靈活，精確到亞納米級：這就是新 MarSurf WI 50 和 MarSurf WI 100 所代表的。這些用于研究和質量保證的高精度測量工具可提供可靠的 3D 測量數據，只需很少的步驟即可快速、直觀地完成。設計具有用戶友好的概念和全分辨率下的高速測量速度，系統能夠可靠地獲取粗糙度值，即使在極其光滑的表面上也是如此。

由于高清拼接功能，MarSurf WI 50和MarSurf WI 100在較大的測量區域都保持了一致的高分辨率。集成的碰撞檢測功能為用戶提供的使用安全性——無論是對被測量的零件還是設備本身。

MarSurf WI 50

高測量速度-即使在高分辨率下也是如此

CNC 功能

通過的碰撞檢測來保護樣品和設備的安全

高清拼接：即使在較大的測量區域，分辨率也始終很高

HDR -功能 16 位

精度

非常光滑的表面

在醫療工程, 半導體等工業領域，對具有特殊性能的極其光滑表面的要求越來越高。這些表面很難用傳統的光學或接觸式技術來表征。

這就是 Mahr 新白光干涉儀開發的原因：這種光學測量技術使用寬帶光的干涉 , 例如白光。因此它允許在幾納米和幾微米之間的結構上進行三維輪廓測量。其結果：高精度的形貌數據和表面結構具有很高的垂直分辨率。

關鍵在于新創的 ICA 技術，該技術結合了目前使用程序分辨率的最佳特性，具有非常高的垂直分辨率和只有 80 皮米的最小噪聲，從而制定了新的標準。