Harrick 氣體流量控制器主要應(yīng)用于處理氣體的精密控制、在等離子清洗過(guò)程中氣體流混合和真空艙內(nèi)壓力監(jiān)控。

Harrick 氣體流量控制器技術(shù)參數(shù)：

緊湊的臺(tái)式設(shè)備、符合CE 安全標(biāo)準(zhǔn)

兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的氣體流量計(jì)(0.104 scfh & 0.22 scfh)
真空壓力傳感器 熱電偶真空計(jì)
壓力表 數(shù)字壓力
壓力范圍 1 -1999 毫托
氣體通路 可同時(shí)通2路氣體
流量計(jì)1 參考刻度值65mm（4~49 mL/min）
49 毫升/分鐘的流量 大氣（0 PSIG）*
流量計(jì)2 參考刻度值65mm（10~104 mL/min）
104 毫升/分鐘的流量 大氣（0 PSIG）*
流量計(jì)精度 滿刻度的± 2％
流量計(jì)工作壓力/溫度 200 PSIG / 250℉（121℃）
不銹鋼氣源輸入接口 dia.6mm
不銹鋼氣源輸出接口 dia.6mm
常用工作氣體：空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)饣蚧旌蠚怏w等

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