FR-μProbe用于通過(guò)光學(xué)顯微鏡在各種模式下進(jìn)行光學(xué)測(cè)量，例如吸收率，透射率，反射率和熒光。該工具包含兩個(gè)光學(xué)組件：一個(gè)在顯微鏡支持的光譜范圍內(nèi)運(yùn)行的光譜儀，以及一個(gè)安裝在任何三目光學(xué)顯微鏡的C端口上的模塊。用于測(cè)量的光源是光學(xué)顯微鏡中可用的光源。收集信號(hào)的大小區(qū)域由所用物鏡的放大倍率定義。通常對(duì)于50倍物鏡，監(jiān)視區(qū)域是直徑約為5μm的圓形。通過(guò)使用高倍率或更小孔徑的物鏡可以進(jìn)一步減少收集面積。

通過(guò)反射率測(cè)量的處理，可以計(jì)算出所研究的薄膜和厚膜疊層區(qū)域的膜厚和光學(xué)常數(shù)（n＆k）。

技術(shù)參數(shù)：

應(yīng)用領(lǐng)域：
1、半導(dǎo)體晶片
2、液晶產(chǎn)品（CS,LGP,BIU）
3、微機(jī)電系統(tǒng)
4、光纖產(chǎn)品
5、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)盤(pán)（HDD,DVD,CD）
6、材料研究
7、精密加工表面
8、生物醫(yī)學(xué)工程

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