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　　XUV/VUV極紫外光譜儀是一款掠入射XUV-VUV光譜儀器和極紫外光柵光譜儀器,非常適合表征測量短脈沖激光發射。

　　XUV/VUV極紫外光譜儀由掠入射振幅光柵和高靈敏度CCD組成,適合探測6eV到210eV能量范圍。光學強度和光譜校準后，可測量激光XUV-VUV源（例如DPP和LPP源）發射的紫外光子數以及等離子體表面或氣體介質中的高次諧波產生。

　　XUV/VUV極紫外光譜儀特點

　　振幅光柵 光譜儀

　　適合6nm~200nm寬光譜范圍內的測量

　　適合探測6eV到210eV能量范圍

　　-掠入射振幅光柵，為一級光衍射提供極寬的光譜范圍

　　-高量子效率CCD

　　-緊湊型設計

　　XUV/VUV極紫外光譜儀分光計設計原則：

　　?與獨立透射光柵相比，掠入射振幅光柵具有更高的可靠性和魯棒性，同時為軟X射線的整個光譜范圍提供了更高的靈敏度

　　?使用平振幅反射光柵可以避免所有偶數級衍射，并對高奇數級進行深度抑制，從而實現高信號和低噪聲測量

　　?該方案中沒有聚焦元件，使得在所有光譜范圍內都能可靠地工作，因此設計非常緊湊

　　?CCD探測器具有穩定的量子響應，可以方便地進行定量測量

　　與透射光柵光譜儀相比，XUV/VUV極紫外光譜儀在6nm以下的整個光譜范圍內保持高靈敏度：

　　XUV/VUV極紫外光譜儀規格

　　光譜范圍：6-200nm

　　分辨率：λ/Δλ=50

　　掠射角：6度

　　縫寬：80um（默認），可根據要求更改

　　格柵：TGZ-2，工作區3x3mm

　　可用探測器：

　　1、東芝1304AP CCD線，3600個元素，像素周期8um，敏感部分6um，無機熒光粉

　　2、Hamamatsu S7030/S7031系列1024x122像素，24um周期

　　3、ANDO440-BN相機，2048x512，13.5微米周期

　　或客戶要求的其他CCD探測器。