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　　高精度激光測振儀是采用邁克爾遜干涉儀技術的激光納米測振儀和微量振動測量儀,單點測量分辨率高達亞pm,成像模式分辨率高達0.1nm,掃描分辨率高達1nm,還能給出1Hz至2.5MHz的FFT頻譜和2.5MHz以下的彎曲振動模態bending modes。

　　高精度激光測振儀全面滿足日益苛刻的研發和品質控制需要和對MEMS微機電系統的需求,通過在樣品上用邁克爾遜干涉儀的聚焦激光束進行光柵掃描來實現，對微量振動進行百萬像素微觀結構振動成像,測量顯微圖像中每個像素的振動。

　　高精度激光測振儀配有壓電式樣品振動器和數字鎖定放大器,用于測量振動的振幅和相位，從中可以重建2.5MHz以下的彎曲模態bending modes。

　　高精度激光測振儀特色：

　　所用邁克爾遜干涉儀激光束同時用于記錄樣品的共焦反射圖像,該圖像本質上與振動測量一致。因此，不需要額外的顯微鏡成像系統。即使控制器和兼容UHV的掃描儀結構非常緊湊,也可提供20毫米尺寸的掃描能力。

　　高精度激光測振儀系統組件： 包含干涉儀、函數發生器和鎖定放大器（33 cm x 28 cm x 7.5 cm）運動控制器：執行XYZ定位器的閉環操作，并包含用于振動臺（33 cm x 28 cm x 7.5 cm）的功率放大器。XYZ掃描儀（10 cm x 5.5 cm x 7.5 cm），用于光柵掃描樣品上的聚焦激光頭?；◢弾r板（20 cm x 15 cm x 4 cm），帶直徑2.5 cm的柱，用于安裝掃描儀帶支架的振動臺

　　高精度激光測振儀規格參數工作原理：邁克爾遜干涉儀，單模光纖耦合測量激光：1550nmDFB激光二極管，穩定（NIST可追蹤），功率輸出<1 mW（激光等級1）激光光斑直徑：7μm（焦點處）分辨率：單點測量為亞pm，成像模式為0.1nm。成像模式：振幅和相位圖像可以使用所含軟件進行分析或導出。單點模式：1Hz至2.5MHz的FFT頻譜，250萬點

　　數字鎖定放大器頻率范圍：500 Hz-2.5 MHz參考信號：可通過標準振動臺和輸出信號驅動定制執行器。時間常數：可從1微秒調節到0.5毫秒動態存儲 gt;100分貝光學顯微鏡：工作原理：共焦激光掃描干涉儀測量激光焦距調整：手動或自動，帶閉環壓電驅動橫向分辨率：5μm最小像素尺寸：1μm圖像尺寸：20 x 20 mm像素數：1000 x 1000

　　掃描系統：工作原理：三軸線性壓電驅動，閉環分辨率：1nm重復精度：30nm行程：20 mm（其他根據要求定制）

　　尺寸控制器：每個33.0 x 27.0 x 7.0 cm（W x L x H）2個掃描儀安裝：花崗巖石材15.0 x 20.0 x 4.0 cm（W x L x H），不銹鋼柱2.5 x 15.0 cm（ L x H）掃描臺：5.5 x 11.0 x 7.5厘米（W x L x H）振動臺：不銹鋼8.0 x 1.5 cm（ L x H）