微型雙晶片變形反射鏡是特別為激光光束像差控制設計的Bimorph Mirrors。制造這種小型雙晶片變形反射鏡有兩種辦法,一種是使用幾個壓電片，第二種方法是在相當小的方形壓電陶瓷上放置高密度的控制電極網格，從而制造出小電極。
雙晶片變形反射鏡規格參數
?鏡孔直徑 gt;=12mm
?施加電壓: 0V~+300V
?變形行程：高達10μm
?控制電極數量：18
?頻率范圍：5 KHz
?滯后： 12%
?損傷閾值：3J/cm2@λ=0.8um，20J/cm2@λ=1.06um
每個雙晶片變形反射鏡都配有控制單元的電子模塊，通過USB端口與標準PC機相連。包括標準軟件。
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