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可探測氣體

氣體名稱 化學式 范圍

氨 NH3 0 - 100 ppm

氫化砷 AsH3 0 - 0.2 ppm

三氯化硼 BCl3 0 - 8.0 ppm

三氯化硼 BF3 0 - 8.0 ppm

（低濃度的） BF3 0 - 2.0 ppm

溴 Br2 0 - 0.4 ppm

二氧化碳 CO2 0 - 2.0 % vol

一氧化碳 CO 0 - 100 ppm

氯 Cl2 0 - 2.0 ppm

二氧化氯 ClO2 0 - 0.4 ppm

ClF3 0 - 0.4 ppm

硼乙烷 B2H6 0 - 0.4 ppm

二氯甲硅烷 H2SiCl2 0 - 8.0 ppm

二氟甲烷 CH2F2 0 - 120 ppm

乙硅烷 Si2H6 0 - 20 ppm

氟 F2 0 - 4.0 ppm

鍺烷 GeH4 0 - 0.8 ppm

六氟丁二烯 C4F6 0 - 40 ppm

氫（％爆炸下限（LEL）） H2 0 - 99% LEL

氫(ppm) H2 0 - 1000 ppm

溴化氫 HBr 0 - 8.0 ppm

HCl 0 - 8.0 ppm

HCN