







可探測氣體
氣體名稱 化學式 范圍
氨 NH3 0 - 100 ppm
氫化砷 AsH3 0 - 0.2 ppm
三氯化硼 BCl3 0 - 8.0 ppm
三氯化硼 BF3 0 - 8.0 ppm
(低濃度的) BF3 0 - 2.0 ppm
溴 Br2 0 - 0.4 ppm
二氧化碳 CO2 0 - 2.0 % vol
一氧化碳 CO 0 - 100 ppm
氯 Cl2 0 - 2.0 ppm
二氧化氯 ClO2 0 - 0.4 ppm
ClF3 0 - 0.4 ppm
硼乙烷 B2H6 0 - 0.4 ppm
二氯甲硅烷 H2SiCl2 0 - 8.0 ppm
二氟甲烷 CH2F2 0 - 120 ppm
乙硅烷 Si2H6 0 - 20 ppm
氟 F2 0 - 4.0 ppm
鍺烷 GeH4 0 - 0.8 ppm
六氟丁二烯 C4F6 0 - 40 ppm
氫(%爆炸下限(LEL)) H2 0 - 99% LEL
氫(ppm) H2 0 - 1000 ppm
溴化氫 HBr 0 - 8.0 ppm
HCl 0 - 8.0 ppm
HCN






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