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北京瑞億斯RTP-300快速熱處理設(shè)備 快速退火爐 怎么操作說明使用哪里購買

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RTP-300快速熱處理設(shè)備 RTP300快速退火爐 快速熱處理爐

歡迎您的 北京瑞億斯科技有限公司

1. 用途

快速熱處理技術(shù)（RTP）是近年來發(fā)展很快的半導(dǎo)體工藝新

技術(shù)。該設(shè)備具有升溫速度快、密封好、溫度范圍寬、使用方

便等特點。可用于硅及化合物半導(dǎo)體材料離子注入后的退火，

硅化物的形成，歐姆接觸制備以及快速氧化，快速氮化等方面。

2 2. . 主 要 技 術(shù) 參 數(shù) 數(shù) 據(jù)

2.1 溫度 范圍 ： 150℃ ～ 1300℃ 。 建議 使用 溫度 范圍

150℃～1250℃。

2.2 升溫速率：100～200℃/s

2.3 密封石英盒內(nèi)面尺寸：210×140×14

2.4 微機控制器：時間設(shè)定范圍：0.1～999 秒，精度 0.1

秒，程序段 8 個,獨立可調(diào)。

2.5 數(shù)字式溫度計：顯示位數(shù)：3 位半，分辨率 1℃，精度

0.5% FS±1℃，測量范圍：0～1300℃。

2.6 溫度穩(wěn)定性：±3℃

2.7 光源：1.25KW×13 鹵鎢燈

2.8 電源：輸入 3N、380V、30A

3 3. . 工 作 原 理 及 結(jié) 構(gòu)

3.1 原理簡述：

在聚光腔內(nèi)的鹵鎢燈產(chǎn)生的光輻照，通過石英盒照射到樣

品上。由于樣品是聚光腔內(nèi)的光吸收體，腔內(nèi)的光線大部

分被樣品所吸收，使樣品溫度快速升高。測溫?zé)犭娕紲y出溫度

信號，經(jīng)線性化和放大后 ，送入比較電路與微機控制器輸出的

信號比較。比較電路輸出的信號控制可控硅的導(dǎo)通角，從而改

變燈電流的大小，實現(xiàn)溫度的閉環(huán)控制。

3.2 快速退火爐結(jié)構(gòu)

上下前后四塊反光板均為水冷，以保持良好的溫度

穩(wěn)定性和較快的降溫速度。石英盒為密封結(jié)構(gòu)，盒后部有

一個氣嘴，可通往保護氣體。盒前部與墊板之間用 704 硅膠封

結(jié)。以保證良好的密封性能。墊板側(cè)面有一個氣嘴，與排氣管

相連。墊板用螺釘固定在前反光板上。石英盒后端有兩個帶彈

簧的頂釘壓緊。石英盒內(nèi)部的后部放有一石英擋條，使保護氣

體氣流均勻。前蓋上裝有石英樣品架和測溫?zé)犭娕?。熱電偶?jīng)

過氧化處理，其表面吸收系數(shù)與硅片相近。前蓋裝有“O"型密

封圈，保證其密封。前蓋裝在導(dǎo)柱上可以前后滑動。裝片時拉

出來，退火時推進去。石英盒上面裝有 6 支鹵鎢燈。下面裝有 7

支鹵鎢燈。每支燈上串有 1 歐姆電阻。其作用是減小啟動時的

沖擊電流及電流取樣。退火爐兩側(cè)裝有風(fēng)扇，給鹵鎢燈及石英

盒強制風(fēng)冷。退火爐面板左側(cè)裝有 N 2 流量計，可調(diào)節(jié)和監(jiān)視保

護氣體的流量。面板右側(cè)有兩排發(fā)光二極管。用來監(jiān)視每支鹵

鎢燈的電流。

3.3 電源

該設(shè)備電源由雙向可控硅調(diào)壓電路，線性化電路，溫度顯

示電路，微機可編程控制器，比較電路等幾部分組成。

由熱電偶輸出的信號，通過面板上的插座輸入線性電路，

轉(zhuǎn)換成與溫度成線性關(guān)系的電壓信號，一部分送入溫度顯示電

路，直接顯示出溫度值，另一部分經(jīng)放大送入比較電路，與微

機控制器輸出的信號比較。比較電路輸出的信號控制可控硅的

導(dǎo)通角，實現(xiàn)閉環(huán)溫度控制。可控硅調(diào)壓電路共分為 6 路，第

一路控制三支鹵鎢燈，其余的控制兩支鹵鎢燈，每一組的燈電

流都是獨立可調(diào)的?？捎脕碚{(diào)整樣品縱向的溫度均勻性。

三相電源的空氣開關(guān)安裝后面板上，保險管在電源箱內(nèi)的

安裝板上。從面板上 A B C 三相指示燈上可看出保險是否斷開，

是否缺相。

退火爐后面板上裝有水壓開關(guān)，如果冷卻水沒接通，水壓

開關(guān)斷開，電源面板上綠色冷卻水指示燈不亮，可控硅不會導(dǎo)

通。

微機控制器有八位單片機及接口電路組成?？刂破饔邪藗€

程序段，每段的時間由鍵盤設(shè)定。溫度由每段對應(yīng)的多圈電位

器設(shè)定。鍵盤上共 16 個鍵，其中 10 個（0～9）為數(shù)字建，5

個為功能建，一個空白建，下面分別介紹 5 個功能鍵的作用。

1)復(fù)位鍵：它的作用是轉(zhuǎn)換工作狀態(tài)，即輸入（IN）狀態(tài)

轉(zhuǎn)換為運行狀態(tài)（即 b 狀態(tài)），或從運行狀態(tài)轉(zhuǎn)為輸入狀態(tài)。

它的另一個作用是手動中斷正在進行的程序。

2) IN 鍵：它的功能是設(shè)定和檢查段號和每段時間。每按動

一次,在顯示板上則按照：程序段號→本段設(shè)定時間→下一段號

→下一段設(shè)定時間的順序走。（從低段到高段走）

3) Last 鍵：功能與 IN 相似。只是每按一次按高段到低段的

順序走。

4)“清零"鍵：在“IN"狀態(tài)按 2 秒鐘后，以前設(shè)定所有數(shù)

據(jù)全部清零。

5)“啟動"鍵：顯示板上顯示 b 或 End 時，按動此鍵控制器

即可開始運行。

電源面板左側(cè)的鑰匙開關(guān)是控制系統(tǒng)及風(fēng)扇的電源開關(guān)。

紅色的按鈕風(fēng)扇開關(guān)是退火爐兩側(cè)的風(fēng)扇開關(guān)，一般情況應(yīng)按

下。工作方式選擇開關(guān)有兩檔：準(zhǔn)備（STAND BY），運行（RUN）.

當(dāng)“準(zhǔn)備"開關(guān)按下時，微機控制電路與可控硅調(diào)壓電路斷開，

可控硅不會導(dǎo)通。當(dāng)微機控制器輸入數(shù)據(jù)或電源停止工作時，

開關(guān)應(yīng)放在此狀態(tài)。電源運行時，工作方式選擇開關(guān)應(yīng)放在“運

行"檔，再按一下微機控制器上的“啟動"按鈕即可開始工作。

面板上的輸入插座是熱電偶信號的輸入端。輸出插座是熱

電偶信號經(jīng)過線性化和放大后的輸出?？晒┙o記錄儀或其它儀

器。

面板上的上限（UPPER LIMIT）調(diào)節(jié)多圈電位器有二個作用：

一是限制溫度上限，是溫度不超過預(yù)定值。二是提高溫度

的穩(wěn)定性和重復(fù)性。

主要技術(shù)數(shù)據(jù)

2.1 溫度范圍：150℃～1300℃。建議使用溫度范圍150℃～1250℃。

2.2 升溫速率：100～200℃/s

2.3 密封石英盒內(nèi)面尺寸：210×140×14

2.4 微機控制器：時間設(shè)定范圍：0.1～999秒，精度0.1秒，程序段8個,獨立可調(diào)。

2.5 數(shù)字式溫度計：顯示位數(shù)：3位半，分辨率1℃，精度0.5% FS±1℃，測量范圍：0～1300℃。

2.6 溫度穩(wěn)定性：±3℃

2.7 光源：1.25KW×13鹵鎢燈

2.8 電源：輸入3N、380V、30A

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