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北京瑞億斯RTP-500型快速熱處理設備快速熱處理爐快速退火爐怎么使用說明購買

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1．用途

快速熱處理技術（RTP）近年來得到越來越的應用，可用于硅及化合物半導體材料離子注入后的退火，硅化物形成，歐姆接觸制備以及快速氧化，快速氮化等方面。該設備具有很好的長時間工作穩定性以及快速升降溫，慢速升降溫的功能，因此也可用于鐵電膜的制備以及各種半導體材料CVD工藝的熱處理。

RTP-500 快速熱處理設備技術指標
1. 溫度范圍: 150 - 1300 C
2. 升溫速率: 0.001-220C / s 可予設定
3. 樣品架尺寸: 4英寸
4. 密封石英盒內尺寸: 215 X 140X 14 mm
5. PC 機控制. CPU 主頻 2.1G 內存128 M , 硬盤40 G , 軟驅1.44M , 17 英寸顯示器, WIN 2000 操作系統. 配有AD/DA卡, 及RTP-500控制軟件.
6. 可編程溫度曲線存儲500 條以上, 每條曲線包括50段以上, 溫度設定范圍 100-1300 C , 時間設定范圍1-30000 秒
7. 實時溫度曲線顯示及存儲功能 . 文件格式輸出
8. 雙閉環溫度控制, 穩態溫度穩定性+/- 2 C ,1000C連續工作>1小時
9.光源: 1.5KW X 13 鹵鎢燈
10.電源: 380 V 35A 三相 五線(三火線, 零線, 地線)
11.水源: 自來水或循環水, 水壓 1-3 kg / 平方厘米, 流量6-8升/分
12. 外形尺寸: 電源箱 440 X 200 X 520 mm , 爐體箱 440X200X520 mm

2．主要技術參數數據

2.1 溫度范圍150℃-1300℃，建議使用溫度范圍150℃-1250℃

2.2 升溫速率0.001-220℃/秒，可預設定2-20

2.3 密封石英盒尺寸：210×140×14mm

2.4 PC機控制。CPU主頻1.1G，內存128M，硬盤20G,軟驅1.44M，40倍速光驅，顯示器15寸彩顯

2.5 可編程溫度曲線存儲500條以上，每條曲線可包括50段以上，溫度設定范圍100℃-1300℃時間設定范圍1-30000秒

2.6 實時溫度曲線，顯示及存儲功能，存儲實驗曲線500條以上。

2.7 手動控制：時間設定范圍1-9999秒，溫度設定范圍100-1300℃

2.8 雙閉環溫度控制，穩態溫度穩定性±2℃

2.9 光源：1.25KW×13鹵鎢燈

2.10 電源：380V　32A　3相

2.11 外形尺寸：電源箱440×200×520mm

爐體箱440×200×520mm

PC機：標準尺寸

3．工作原理及結構

3.1原理簡述

在聚光腔內的鹵鎢燈產生的光輻照，通過石英盒照射到樣品上。由于樣口是聚光腔內的光吸收體，腔內的光線大部分被樣品所吸收，使樣品溫度快速升高。測溫熱電偶測出溫度信號，經線性化和放大 ，通過A/D轉換送入PC機。PC機根據預定的溫度曲線，以及當前溫度值，決定控制電壓的大小，經D/A轉換器送入接口電路。通過控制電路和固態控制器，控制燈電流大小，實現閉環控制。

3.2快速退火爐結構

上下前后四塊反光板均為水冷，以保持良好的溫度穩定性和較快的降溫速度。石英盒為密封結構，盒后部有一個氣嘴，可通往保護氣體。盒前部與墊板之間用704硅膠封結。以保證良好的密封性能。墊板側面有一個氣嘴，與排氣管相連。墊板用螺釘固定在前反光板上。石英盒后端有兩個帶彈簧的頂釘壓緊。石英盒內部的后部放有一石英擋條，使保護氣體氣流均勻。前蓋上裝有石英樣品架和測溫熱電偶。熱電偶經過氧化處理，其表面吸收系數與硅片相近。前蓋裝有“O"型密封圈，保證其密封。前蓋裝在導柱上可以前后滑動。裝片時拉出來，退火時推進去。石英盒上面裝有6支鹵鎢燈。下面裝有7支鹵鎢燈。每支燈上串有1歐姆電阻。其作用是減小啟動時的沖擊電流及電流取樣。退火爐兩側裝有風扇，給鹵鎢燈及石英盒強制風冷。退火爐面板左側裝有N2流量計，可調節和監視保護氣體的流量。面板右側有兩排發光二極管。用來監視每支鹵鎢燈的電流。

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