AXIS NOVAX射線光電子能譜儀標準主機包含單色化Al Kα X射線源，可實現大面積XPS分析、小面積XPS分析和ISS分析以及XPS快速平行成像等功能

大功率的600W單色化Al Kα X射線源，確保zui高的分析靈敏度

平均半徑165mm的雙層能量分析器，確保高能量分辨XPS分析和高空間分辨的XPS成像的浸入式磁透鏡技術，大幅度提高分析靈敏度

的快速平行X光電子實時成像，空間分辨率優于3μm，zui高像素65,536（256×256），可進行微區元素和化學態空間分布分析的同軸超低能無陰影單電子源荷電中和器，解決絕緣體XPS分析的二維陣列延遲線檢測器（Delay-Line Detector），同時記錄光電子的強度和發射位置，可實現在數秒鐘之內獲得高能量分辨XPS譜

全自動超大樣品臺，可實現100mm×100mm的大樣品分析

能量分辨率優于 0.45eV（Ag 3d5/2）
常規分析能量分辨和靈敏度高達0.55eV@1.1Mcps（Ag 3d5/2）

絕緣體分析的分析能量分辨和靈敏度高達0.68eV@16kcps（PET的C 1s）

選配單色化Al/Ag雙陽極X射線源，實現高能XPS分析

結合了數據采集和數據處理的Vision軟件，可運行于Windows XP/Vista/7等多種平臺下，實現各真空室真空度實時顯示，操控真空閥門開關，實驗條件設定和全自動無人值守分析等*功能