蒸餾水是指經過蒸餾、冷凝操作的水，蒸二次的叫重蒸水，三次的叫三蒸水。低耗氧量的水，加入與酸工業蒸餾水是采用蒸餾水方法取得。
蒸餾是一種熱力學的分離工藝，它利用混合液體或液-固體系中各組分沸點不同，使低沸點組分蒸發，再冷凝以分離整個組分的單元操作過程，是蒸發和冷凝兩種單元操作的聯合。與其它的分離手段，如萃取、過濾結晶等相比，它的優點在于不需使用系統組分以外的其它溶劑，從而保證不會引入新的雜質
灼燒渣含量 （≤0.01 %）
2錳（Mn）含量 （≤0.00001%）
3鐵（Fe）含量 （≤0.0004 %）
4氯（Cl） （≤0.0005 %）
5 還原物質（O）含量 （≤0.0002 %）
6 透明度 （mm） 無色透明
7 電阻率（25℃） （≥10x104 Ωcm）
8硝酸及亞硝酸鹽（以N計） （ ≤0.0003 %）
9 銨（NH4）含量 （≤0.0008 %）
10 堿土金屬氧化物（CaO計） （≤0.005 %）
11顏色 呈淡藍色或無色
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