產(chǎn)品概述
原子力顯微鏡PZ-6800AFM是原子力顯微鏡PZ-6600AFM的升級，增加了針對標(biāo)記區(qū)域掃描提供準(zhǔn)確的定位系統(tǒng)及磁力模塊，因而掃描范圍更廣，定位更精確。
一、主要功能特點(diǎn)
硬件系統(tǒng)
1、光機(jī)電一體化設(shè)計(jì)，外形結(jié)構(gòu)簡單；
2、掃描探頭和樣品臺集成一體，抗力強(qiáng)；
3、精密激光檢測及探針定位裝置，光斑調(diào)節(jié)簡單，操作方便；
4、采用樣品趨近探針方式，使針尖垂直于樣品掃描；
5、伺服馬達(dá)手動或自動脈沖控制，驅(qū)動樣品垂直接近探針，實(shí)現(xiàn)掃描區(qū)域精確定位；
6、高精度大范圍的樣品移動裝置，可自由移動感興趣的樣品掃描區(qū)域；
7、高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇；
8、帶光學(xué)定位的CCD觀測系統(tǒng)，實(shí)時(shí)觀測與定位探針掃描樣品區(qū)域；
9、采用伺服馬達(dá)控制CCD自動對焦功能；
10、模塊化的電子控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)，便于電路的持續(xù)改進(jìn)與維護(hù)；
11、集成多種掃描工作模式控制電路，配合軟件系統(tǒng)使用。
軟件系統(tǒng)
1、可觀測樣品掃描時(shí)的表面形貌像、振幅像和相位像；
2、具備接觸、輕敲、相位、摩擦力、磁力或靜電力工作模式；
3、可自由選擇圖像采樣點(diǎn)為256×256或512×512；
4、多通道圖像同步采集顯示，實(shí)時(shí)查看剖面圖；
5、多種曲線力-間距(F-Z)、頻率-RMS（f-RMS）、RMS-間隙（RMS-Z）測量功能；
6、可進(jìn)行掃描區(qū)域偏移、剪切功能，任意選擇感興趣的樣品區(qū)域；
7、可任意選擇樣品起始掃描角度；
8、激光光斑檢測系統(tǒng)的實(shí)時(shí)調(diào)整功能；
9、針尖共振峰自動和手動搜索功能；
10、可任意定義掃描圖像的色板功能；
11、支持樣品傾斜線平均、偏置實(shí)時(shí)校正功能；
12、支持掃描器靈敏度校正和電子學(xué)控制器自動校正；
13、支持樣品圖片離線分析與處理功能。
規(guī)格參數(shù)
| 序號 | 名 稱 | 參 數(shù) |
| 01 | 工作模式 | 接觸、輕敲、相位、摩擦力、磁力或靜電力 |
| 02 | 樣品尺寸 | Φ≤90mm；H≤20mm |
| 03 | 掃描范圍 | 橫向50um，縱向5um |
| 04 | 掃描分辨率 | 橫向0.2nm，縱向0.05nm |
| 05 | 掃描速率 | 0.6Hz~4.34Hz |
| 06 | 掃描控制 | XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A |
| 07 | 數(shù)據(jù)采樣 | 14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣 |
| 08 | 掃描角度 | 任意 |
| 09 | 樣品移動范圍 | 0～20mm |
| 10 | 馬達(dá)趨近脈沖寬度 | 10±2ms |
| 11 | 光學(xué)放大倍數(shù) | 10X |
| 12 | 光學(xué)分辨率 | 1um |
| 13 | 圖像采樣點(diǎn) | 256×256，512×512 |
| 14 | 反饋方式 | DSP數(shù)字反饋 |
| 15 | 反饋采樣速率 | 64.0KHz |
| 16 | 計(jì)算機(jī)接口 | USB2.0 |
| 17 | 運(yùn)行環(huán)境 | 運(yùn)行于Windows98/2000/XP/7/8操作系統(tǒng) |
| 18 | 儀器重量體積 | 40KG，700*480*450mm |
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