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高響應度TeraSense太赫茲相機 太赫茲成像相機THz camera

型號：Tera-256/ Tera-1024 / Tera-4096

毫米分辨率太赫茲相機，美國Terasense太赫茲相機，

Tera系列太赫茲探測器的基本原理

TeraSense的太赫茲探測器是在等離子體激元（Plasmonics）技術的基礎上發展而來的。等離子體激元/表面等離子體是一個經過長期研究的基礎學科方向，近幾十年來，這一領域的研究大量涌現。 一個重要的推動力來自等離子體波的物理特性，亞波長尺度的電磁輻射受到限制。此外，人民已經可以在芯片上有效地操縱等離子體波。等離子體激元概念已經在光譜的光學部分中發現了大量的應用。 然而，近在半導體AlGaAs / GaAs納米結構的純度方面取得了進展，使得從光譜光學區域到微波和太赫茲（THz）波段的等離激元概念變得可能。

不幸的是，標準的二維（2D）等離子體振子只有在頻率ω> 1 /τ時才可觀察到，其中動量松弛時間τ基本上隨著溫度的升高而降低。 因此，等離子體效應僅在足夠大的頻率和足夠低的溫度下才可見。 實際上，僅在低于80K的低溫下觀察到頻率對f<500ghz的二維等離子體波。這一事實嚴重地阻礙了用于等離子體電子學的太赫茲應用的發展。

避免這種強加限制的一種是相對等離子體激發（relativistic plasma excitations）——一種在門控2D電子系統中發現的等離子體波。 這些弱阻尼的等離子體波在高電導率的2πσ> c電子系統中激發，具有強烈的極化特性，這種相對等離子體在微波和亞太赫茲頻率范圍內能夠存活到室溫。

在TeraSense探測器中，通過沉積在晶體表面上的寬帶天線結構將太赫茲輻射轉換成相對論等離子體波的交變電勢。此外，由于等離子體波導的不對稱性，等離子體波的交變電位被整流以產生測量的光響應信號。 可以選擇檢測器的幾何形狀以匹配特定的THz頻帶。

TeraSense太赫茲相機 太赫茲成像相機THz camera

型號：Tera-256/ Tera-1024 / Tera-4096

Terasense太赫茲相機探測器部分基于 GaAs 異質結高效的載流子遷移率，利用傳統光刻蝕的制造。成像傳感器制做在一個單獨的晶圓上。 整個過程確保了等離子體探測器各項參數的穩定性和高的響應度（像素-像素之間的響應度偏離 20%之內）。

每個獨立的探測單元在室溫下的響應度高達 50KV/W，在 10GHz-1THz 之間的噪聲等效功率為 1nW/Hz 1/2 。探測器的探測機制是基于在二維電子系統中入射太赫茲與等離子體振蕩的轉化過程。

Tera系列太赫茲探測器的生產（半導體產線）

Terasense成像芯片生產由幾個主要工序組成。這些光刻步驟是在TeraSense半導體工廠的特殊潔凈室條件下進行的。潔凈室的等級由特定顆粒大小的每立方米顆粒的數量。 TeraSense設施在步行區域具有1000級（ISO 6）潔凈室條件，在設備下具有100（ISO 5）條件。

對于砷化鎵晶圓的圖案化結構生產，維爾克斯光電代理的TeraSense擁有一條生產線。支持基礎設施包括水凈化系統，純氣體裝置，光刻膠旋轉器，濕臺，UV曝光系統，金屬沉積系統，檢查顯微鏡，光刻膠灰化系統和離子蝕刻系統。為了實現和檢查尺寸小于一微米的結構，TeraSense使用電子束光刻。電子束光刻使用精細聚焦的電子束來曝光抗蝕劑材料。

產品特點:

● 頻率范圍： ● 結構緊湊高
● 高響應度：50KV/W ● 視頻模式（50fps）
● NEP：1nW/Hz 1/2 ● 自帶 Terasense Viewer 軟件
● 室溫操作 ● USB 5V 供電
● 1 年期

主要應用：

太赫茲成像醫療診斷
安防監控 缺陷鑒定
油品質量控制

規格參數：