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產品特點：

● 可以測量從10ˉ10Torr到大氣壓的13個壓力等級的測量范圍
● 結合了微皮拉尼的離子規復合真空計
● 可用于實時數據存取的微機電數字科技
● RS485通訊和控制
● 有3個獨立的設定點切換
● 較低的功率消耗，24VDC，10W
● 快速的，準確地，可重復的壓力測量減少了工藝的循環周期
● 任意安裝方向而不影響讀數精度
● 2個鍍銥的燈絲，延長了使用壽命
● 精巧的設計很容易對真空計進行維護
● 符合歐洲CE標準

應 用：
MKS 979復合真空計特別適用于高真空工藝，即從大氣壓到10ˉ10Torr，非常理想地用于PVD和離子注入工藝的較寬的循環壓力變化。雙傳感器的設計和數字通訊確保了在高真空鍍膜應用中需要的穩定性和準確性，精巧的設計使979成為在半導體和工業化領域中的系統集成提供了理想的解決方案。