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抗腐蝕、陶瓷型電容薄膜規(guī)，膜片真空計

INFICON SKY CDG025D 電容膜片真空計屬于高精度溫度補償型真空計, 在苛刻的生產環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能. 的數(shù)字電子學提高真空計的性能和易于使用的特點, 如一鍵調零功能和設點調整. 抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有超卓的零點穩(wěn)定性與預期數(shù)百萬次壓強周期包括大氣沖擊的長使用壽命. 的傳感器屏蔽 （技術） 保護真空計防止過程污染. 堅固耐用的機械結構和數(shù)字電子學加強了EMC 兼容性, 穩(wěn)定性和溫度補償性. CDG025D 真空計為從電源接通后的快速穩(wěn)定與暴露大氣壓后快速恢復等特性設定了新的標準.

優(yōu)點
■ 全刻度范圍從 100 毫乇… 1000 乇
■ 電源接通后快速穩(wěn)定
■ 暴露大氣壓后快速恢復
■ 抗腐蝕性陶瓷傳感器
■ 超卓的訊號穩(wěn)定性
■ 溫度補償
■ 保護傳感器防止污染
■ 一鍵調零功能
■ 寬范圍電源
■ 兩個設點
■ RS232接口
■ 符合清潔室條件
 

抗腐蝕、陶瓷型電容薄膜規(guī)，膜片真空計

用途
在要求高的應用中用于準確和快速的壓強測量:
■ 用于刻蝕, CVD, PVD, ALD 等半導體制造設備
■ 數(shù)據(jù)貯存和顯示器制造設備
■ 工業(yè)真空設備
■ 一般高精度壓強測量