低溫等離子廢氣處理設備技術是近年發展起來的廢氣處理新技術。等離子體被稱為物質的第四種形態，利用介質放電所產生的等離子體以每秒300萬次至5000萬次的速度反復轟擊異味氣體分子，激活、電離、裂解廢氣中的各種成分，使復雜的大分子污染物轉變為一些小分子的安全物質（如CO2和H2O），達到凈化的目的。 

    等離子技術產生的高能電子能量高，自由基密度大，因此絕大部分有毒有害物質均能被分解，且處理對象廣泛，對各種工業有機廢氣及國家《惡臭污染排放標準》中規定的八大惡臭物質均能有效去除。相比其它廢氣處理方法，等離子體技術具備能耗低、使用便利、無二次污染等特點，是目前廢氣污染治理中富有前景、行之有效的技術方法。    

等離子體與固體、液體、氣體一樣，是物質的一種聚集狀態，是繼固、液、氣三態后被列為物質的“第四態"。由正離子、負離子、電子和中性粒子組成。在這個體系中因其總的正、負電荷數相等，故稱為等離子體。氣體（惰性氣體除外）在一定電壓和頻率電場作用下均可被電離或擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的等離子體。    

常規意義上的等離子體態是中性氣體中產生了相當數量的電離，當氣體溫度升高到其粒子的熱運動動能與氣體的電離能可以比擬時，粒子之間通過碰撞就可以產生大量的電離過程。并非只有電離的氣體才是等離子體，但需要有足夠高電離度的電離氣體才具有等離子體性質。當體系中“電性"比“中性"更重要時，這一體系可稱為等離子體。 

    等離子技術產生的高能電子能量高，自由基密度大，因此絕大部分有毒有害物質均能被分解，且處理對象廣泛，對各種工業有機廢氣及國家《惡臭污染排放標準》中規定的八大惡臭物質均能有效去除。 

    當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生大量電子、離子、原子和自由基在內的混合粒子。這些高能活性粒子和廢氣中的污染物作用，使廢氣分子在極短的時間內發生分解，以達到凈化廢氣的目的。電場的設計使廢氣分子的運動速度較低，零點幾秒內便能使其負載足夠的電荷。帶電粒子在電場中會受到電場力（庫侖力）的作用，使廢氣分子被吸附至陽極，因此凈化率非常高。粒子電離后產生的電子平均能量約為1eV~10eV，因此控制反應條件可以使反應變得十分快速。  
    相比其它廢氣處理方法，等離子體技術具備能耗低、使用便利、無二次污染等特點，是目前廢氣污染治理中富有前景、行之有效的技術方法。傳統治理VOC及異味氣體的方法（如吸收法、熱氧化法、膜分離法、生物反應法和光催化法等）由于對于低濃度氣體治理效率不高，各國利用不同的冷等離子體發生裝置治理廢氣，通過比較不同放電形式的等離子體對廢氣的去除效率，發現介質阻擋放電等離子體的去除率較高，這也成為近幾年研究的重點。大流量低溫等離子廢氣治理裝置為真正意義上的等離子體廢氣治理技術。所要治理的廢氣通過等離子體區，使之離子化，形成電離狀態，在高能電子和粒子的轟擊下，加之等離子體態中豐富的氧化活性基團，在較短的時間類分解反應成為二氧化碳、水或是小分子化合物。而非單純的依靠臭氧來氧化反應。這種等離子體治理廢氣的技術正是國內、環保部等鼓勵發展的*技術，在國內處于應用推廣階段，其技術在國內處于*水平。