一、氣體質量流量傳感器AWM40000 系列簡介
AWM40000 系列包括不帶放大和放大/ 信號處理的信號。AWM42150V 和AWM42300，使用和AWM2000 相同的電路。AWM43300V 和AWM43600V 使用和AWM3000 相同的電路。AWM43600V 為6SLPM 器件。
二、氣體質量流量傳感器AWM40000 系列主要特點：
1）多個集中安裝，O形密封圈
2）陶瓷流量管（無引氣管）：0-1000sccm
3）塑料流量管（無引氣管）：0-6SLPM
4）高共模壓力（150psi）
5）工作溫度可至125℃
6）零點和滿量程高穩定性
相關產品：
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