MTCS2601 熱導式壓力傳感器

一、熱導式壓力傳感器 MTCS2601 描述：

MTCS2601 傳感器由基于 MEMS 技術的 4 個 Ni-Pt 電阻組成的微機械的熱電導率傳感器。此傳感器安裝在小型的 SMD 封裝內。同時結合了低功耗 CMOS 標準集成電路，非常適合 OEC 廠商的泄漏檢測，或者基于帕拉尼原理的真空度檢測，需要超低功耗，長壽命和免維護的產品。適用于惡劣環境下初級壓力控制，需要功耗和尺寸的限制，或者密閉空間中氣體泄漏或者水分， 或者侵入的監測。

二、 熱導式壓力傳感器 MTCS2601特點：

MEMS 傳感器遵循沒有化學反應的物理皮拉尼原理，基于氣體熱導率變化Vs壓力變化趨勢

測量范圍：0.0001~1000mbar，的可重復性
硅晶片上有加熱電阻，并且有優異的溫度補償
超小的傳感器氣體體積例如< 0.1cm3
穩定和長的 MTBF（>30000 小時） ，基于物理阻抗感應原理
超低功耗消耗（<6mw）,由于使用了帶小加熱元件的 MEMS 傳感器
超快響應時間<50ms< span="">
對安裝位置不敏感
可以使用在串擾氣體環境中
與一個簡單恒定的溫度電路兼容

三、 熱導式壓力傳感器 MTCS2601應用：

將該傳感器安裝在壓力閥或直接裝在真空溜管或系統中，例如小的機械抽真空系統、 真空泵和分析儀器。 泄露微型SMD傳感器可做專用壓力下的密閉系統或儀器控制的完整性檢測，它能做類似腐蝕或簡單地盒子打開后的檢測 (荷重元；飛輪系統；Dewar保溫真空瓶...)