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臨時鍵合 晶圓鍵合系統適合研發和小批量生產

產品二維碼
參  考  價:面議
具體成交價以合同協議為準
  • 產品型號:EVG-03
  • 品牌:
  • 產品類別:邦定機
  • 所在地:
  • 信息完整度:
  • 樣本:
  • 更新時間:2023-01-05 10:44:59
  • 瀏覽次數:54
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北京亞科晨旭科技有限公司

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  • 經營模式:其他
  • 商鋪產品:522條
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產品簡介

憑借我們在設計和制造晶圓鍵合設備方面的豐富經驗,EVG在制定晶圓鍵合行業標準方面廣受認可

詳情介紹


憑借我們在設計和制造晶圓鍵合設備方面的豐富經驗,EVG在制定晶圓鍵合行業標準方面廣受認可。

EVG晶圓鍵合系統可以配置用于研發,中試線或大批量生產,以及任何基于直接或中間層的鍵合工藝,包括復雜的低溫共價鍵合。憑借這些技術和設備組合,EVG占領了封裝和3D集成,MEMS以及的化合物半導體和SOI基板的市場,保持了地位和主導。

粘接系統

EVG的晶圓鍵合機可提供的總體擁有成本(TCO),并具有多種設計功能可優化鍵合良率。針對MEMS,3D集成或高級封裝中的不同市場需求,針對鍵合對準的多個模塊進行了優化。

臨時粘接系統

臨時鍵合是為薄晶圓或薄薄晶圓提供機械支撐的的過程,這對于3D IC,功率器件和FoWLP晶圓以及處理易碎基板(例如化合物半導體)非常重要。EVG粘合技術在其臨時粘合設備中得到了體現,該設備自2001年以來一直由該公司提供。

EVG850 DB

鍵對準系統

1985年,EV Group發明了世界上個雙面對準系統,改變了MEMS技術,并通過分離對準和鍵合工藝,在對準晶片鍵合方面樹立了行業標準。

SmartView NT

融合和混合鍵合系統

融合或直接晶圓鍵合可通過每個晶圓表面上的介電層連接,用于工程襯底或層轉移,例如背面照明的CMOS圖像傳感器。混合鍵合擴展了鍵合界面中嵌入金屬焊盤的熔融鍵合,從而實現了面對面晶片的正面連接。混合綁定的主要應用是高級3D設備堆疊。


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