Bruker微納壓痕測試儀CETR-Apex
布魯克的摩擦測試設備,居于地位,成為摩擦學和機械性能測試的,能在各種環境條件下執行多重檢測,獲取納米級、微米級以及宏觀尺度上材料的摩擦和機械性能數據。目前,有上千臺設備成功安裝并投入使用,進行材料基本性能的測試,尤其在薄膜研究以及工業生產的質量監控方面。
應用:
微納壓痕劃痕測試儀CETR-Apex,是一款多功能微米、納米機械性能測試平臺。性能,操作簡易。納米壓頭用來測量超薄涂層尤其是納米級涂層以及塊體材料的厚度、硬度、楊氏模量等。微米壓頭用于較厚涂層和塊體材料的硬度、楊氏模量等機械性能測量。納米、微米級摩擦學壓頭用于薄膜、涂層以及塊體材料的摩擦磨損測量、靜態/動態摩擦學測量、度、附著力,粘滑性等機械性能測量。微納壓痕測試儀應用于以下領域:
l 薄膜: n CVD、PVD涂層 n 太陽能電池薄膜、MEMS、燃料電池 n 光學組件 n 玻璃窗
l 半導體: n 低K材料 n 導體連線 n 鈍化層
l 防磨損涂層 n TiN、TiC、DLC、WC n 切割材料 | l 汽車和航天材料: n 涂層和中間層 n 汽車和飛機門窗 n 引擎組件 n 其他:剎車制動器、軸承、活塞襯墊等的性能測試
l 鏡頭:光學涂層 l 磁盤: n 盤片和磁頭外涂層 n DLC涂層
l 生物醫藥學: n 植入體和組織 n 片劑和藥丸 |
特征:
u CETR-Apex三個測量探頭
l 左側:機械性能測試,可以簡便更換納米、微米壓頭;
l 中部:顯微鏡,多達4個不同放大倍數的物鏡,隨意切換;
l 右側:掃描成像,AFM和三維光學輪廓儀隨意切換。










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