特征：

◆ 的垂直分辨率，大的測量性能；

l ~200倍的放大倍率；

l 任何倍率下亞埃級至毫米級垂直測量量程；

l 高分辨率攝像頭；

◆ 測量硬件的設計，增強生產環境中的可靠性和重復性；

l 較高的震動的容忍度和GR&R測量的能力

l 的自動校準能力；

◆ 多核處理器下運行的Vision64™ 軟件，大大提高三維表面測量和分析速度

l 數據處理速度提高幾十倍；

l 分析速度提高十倍；

l 無以倫比的大量數據無縫拼接能力；

◆ 高度直觀的用戶界面，擁有的實用性，操作簡便和分析功能*

l 優化的用戶界面大大簡化測量和數據分析過程；

l 的可視化操作工具；

l 可自行設置數據輸出的界面；

部分選擇項：

可編程控制150mm(6in)自動樣品臺

可選操縱手柄

可選高速聚焦；

可選縫合功能；

可選XY自動移動功能

參數：

XY樣品臺： 150mm（6in）手動樣品，樣品臺±6°傾斜調整

Z方向聚焦： 計算機自動控制聚焦

光學組件模塊： 新一代雙LED照明電源；自動視場目鏡轉臺；自動濾波片切換；

物鏡： 可共焦物鏡：，5X，10X，20X，50X；100X；

長焦物鏡：1X，，2X，5X，10X；

物鏡搭臺： 單物鏡適配器或四位置自動塔臺；

處理器： 多核，Windows® ；

系統軟件： Vision64 操作和分析軟件；

可選分析軟件： MATLAB®, SureVision, TCP/IP Control, ThickFilm, Annular, Optical

其他自動化： 標準自動光強設定；標準攝像頭自動聚焦

校準： 手動，使用可追溯標準樣品；

Z方向掃描范圍： 至10mm

掃描速度： µm/sec

樣品重量： (10lbs)

垂直方向分辨率： <

RMS重復性：

反射率： < to

臺階高度測量： 不確定度：%；

重復性 lt;% 1σ