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◆性能特點：
光學金相顯微鏡和原子力顯微鏡一體化設計，功能*。
同時具備光學顯微鏡和原子力顯微鏡成像功能，兩者可同時工作，互不影響。
同時具備光學二維測量和原子力顯微鏡三維測量功能。
激光檢測頭和樣品掃描臺集成一體，結構非常穩定，抗干擾性強。
精密探針定位裝置，激光光斑對準調節非常簡便。
單軸驅動樣品自動垂直接近探針，使針尖垂直于樣品掃描。
馬達控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式，保護探針及樣品。
超高倍光學定位系統，實現探針和樣品掃描區域精確定位。
集成掃描器非線性校正用戶編輯器，納米表征和測量精度優于98%。
◆測量范圍及應用：
測量范圍：二維、三維、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。
應用：納米材料、石墨烯、薄膜、鈍化膜、短切玻纖復材、分子篩、TiO2、CrPS4（15）、CrPS4（16）、中空纖維膜絲、粗糙度測試、四氧化三鐵、M13-PBA等。
◆ 應用案例 Application Case
序號
名稱
技術參數
01
工作模式
接觸模式、輕敲模式
02
選配模式
摩擦力/側向力、振幅/相位、磁力/靜電力
03
力譜曲線
F-Z力曲線、RMS-Z曲線
04
XY掃描范圍
50×50um，可選20×20um，100×100um
05
Z掃描范圍
5um，可選2.5um，10um
06
掃描分辨率
橫向0.2nm，縱向0.05nm
07
樣品尺寸
Φ≤68mm，H≤20mm
08
樣品臺行程
25×25mm
09
光學物鏡
5X/10X/20X/50X平場復消色差物鏡
10
光學目鏡
10X
11
照明方式
LED柯勒照明系統
12
光學調焦
粗微動手動調焦
13
攝像頭
500萬像素CMOS傳感器
14
顯示屏
10.1寸平板顯示器，帶圖像測量功能
15
掃描速率
0.6Hz~30Hz
16
掃描角度
0~360°
17
運行環境
Windows XP/7/8/10操作系統
18
通信接口
USB2.0/3.0
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