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    1600℃三溫區(qū)三路氣體高真空CVD系統(tǒng)，真空度可達(dá)6.67x10-3Pa（也可定制6.67x10-6Pa），三個溫區(qū)獨(dú)立控制加熱，實驗操作更加方便。超高溫加熱元件，額定工作溫度可達(dá)1550℃。

   主要用于真空燒結(jié)、氣氛保護(hù)性燒結(jié)、真空鍍膜、各種材料鍛燒、需要溫度梯度的各種CVD實驗。

    該產(chǎn)品造型優(yōu)美、做工精細(xì)，測溫精準(zhǔn)、控溫穩(wěn)定。

管式爐爐管尺寸：Φ60220220220MM，0~1550℃工作溫度區(qū)間；

真空泵：5~6.67x10-3Pa真空度（可定制6.67x10-6Pa），質(zhì)子流量計精確至0.1