晶圓裝卸操作臺是專業為4英寸晶圓裝卸,晶圓搬運,晶圓取放等晶圓操作操縱設計的晶圓裝卸定位臺系統。它采用XYZ三維定位臺和360度旋轉臺集成而成。
晶圓裝卸操作臺具有微納定位功能,可集成為自動化晶圓裝卸機器人手臂，具體配置請聯系我們。
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