多自由度微操縱定位平臺采用納米旋轉臺和納米定位平臺搭建成的精密復雜定位系統,非常適合納米操縱,納米操作,微納操縱研究應用。
9自由度微操縱系統
9自由度微操縱系統是9軸微操縱系統和9維微納操縱系統,采用7個SLC納米線性定位器,1個SR2013納米旋轉臺和1個SG1730納米微夾鉗搭建組成,都配備納米傳感器,非常適合搭建微尺度玻璃球螺旋結構等復雜艱難任務。9自由度微操縱系統全自動化操作,具有定位臺反饋機制。
歐拉角定位臺系統
這款歐拉角定位臺系統是非磁性鈦金屬2D歐拉角位臺系統,專業為UHV定位設計。
光纖準直系統
這套光纖準直系統采用3D和1D納米位移臺搭建,光纖夾具連接到3D定位臺上,波導測量系統可安裝到1D定位臺上,結合恒力彈簧,3D定位臺可負載400g樣品。
這套光纖準直系統都配備了納米傳感器,分辨率高達1nm,定位重復精度大約45nm，速度可達20mm/s.
5軸微操作位移臺
5軸微操作位移臺是5自由度定位臺系統,可提供XYZ三維位移定位和2個角位臺旋轉定位,Z軸特別使用了恒力彈簧,有效增加持久性負載能力。
5軸微操作位移臺可用于高真空或超高真空環境。.jpg)
8自由度定位臺由2個三維位移臺h和旋轉定位臺組成,可以配備微用于精密定位。
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