納米定位臺系統采用納米直線位移臺和納米旋轉臺搭建成各種納米定位系統,包含了二維XY納米定位臺,三維微操作定位臺,三維XYZ納米定位臺,多角度旋轉定位臺系統。
XY納米定位臺是二維電動納米定位臺,采用兩個納米線性定位器在XY方向正交堆疊組成,大可提供51x51mm^2的工作面積,可以用于超高真空環境,并可以在此基礎上升級到XYZ三維納米定位臺系統。
多角度旋轉定位臺系統
多角度旋轉定位臺系統采用SR2812納米旋轉臺提供超納米級高精度多角度定位和歐拉角定位,三個歐拉角方向都可給出納米定位精度,工作面積可覆蓋360° x 180° x 360°。該多角度旋轉定位臺系統可用于超高真空環境，且具有多種負載能力的配置供用戶選擇。
三維微操作定位臺
三維微操作定位臺采用2個SLL線性位移臺和1個SR7012旋轉定位臺組成,非常適合各種樣品的3D微操作定位,負載300g,在垂直,水平和任何混合方向都可提供250mm行程。這套三維微操作定位臺精度高達納米量級,可用于超高真空環境,非常適合SEM樣品定位等掃描電鏡樣品定位。
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三維XYZ納米定位臺
三維XYZ納米定位臺采用直線納米定位臺搭建而成,可提供典型的工作面積為21 x 21 x 21 mm3，也可采用其它規格的納米定位臺組成各種XYZ三維定位臺系統。XYZ三維納米定位臺結構緊湊，非常適合各種精密三維操作定位，適合超高真空環境。
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