這款納米定位平臺X-TRIM是美國Nutec公司高速高精度真空納米定位平臺和納米位移平臺,它采用技術(shù)設(shè)計, 具有單軸或精密的雙軸配置兩種選擇, 適合高真空環(huán)境和非磁性定位應(yīng)用.
X-TRIM采用了陶瓷伺服電機驅(qū)動，非常適合要求精度達到納米或壓納米的高精度和高重復(fù)精度的應(yīng)用，例如：精密生命科學(xué)儀器、顯微成像、納米準(zhǔn)直、微納加工、光學(xué)精確定位等。
X-TRIM特色
10nm分辨率非接觸線性編碼系統(tǒng)
雙驅(qū)動任選:線性伺服或壓電驅(qū)動
高密度滾珠傳導(dǎo)增加穩(wěn)定性
超緊湊的單軸或雙軸納米位移臺
緊湊型封裝
可真空使用
工作能力，大吞吐量
X-TRIM采用無鐵芯直接驅(qū)動直線電機,驅(qū)動軸位于納米位移臺的中心線, 這種設(shè)計消除了非中心驅(qū)動導(dǎo)致的偏航,空回等問題.
納米定位臺集成了一個高分辨率(12.5nm)非接觸式線性編碼器,它為閉環(huán)的伺服系統(tǒng)工作操作提供了精密反饋, 它的標(biāo)準(zhǔn)配置就可以提供納米精度的定位.
使用能夠了精密的滾珠導(dǎo)向系統(tǒng)確保了位移平臺高精度性能和嚴(yán)格的軌跡控制。
也適合OEM使用,它具有較低拋面和較小尺寸，采用模塊化設(shè)計，用戶可堆疊使用創(chuàng)建多軸多部件系統(tǒng)。
這款使用了非接觸式直接驅(qū)動技術(shù)，提供堅固，精確，高速的定位，滿足高頻率大工作量的需要。使用了的無鐵直線電機直接確定技術(shù)，確保異的納米級定位性能。
這款納米定位臺提供了高速度，高精度，高分辨率，高性能的表現(xiàn)。它與傳統(tǒng)的絲杠驅(qū)動或壓電驅(qū)動相比，具有更大的工作效率和吞吐量。
X-TRIM參數(shù)
行程(mm): 25和50mm(單軸或雙軸)
驅(qū)動系統(tǒng): 無鐵芯直線電機或陶瓷伺服電機
zui大加速度: 由負載決定
zui大速度: 200mm/s (無負載時)
zui大推力: 24N
zui大負載: 2Kg
精度: +/-1um/25mm
TTL分辨率: 1-100nm/脈沖
構(gòu)造材料: 鋁合金主體, 灰色氧化鍍膜
重復(fù)精度: 5倍精度
| XT 25 | XT 50 | XT 2525 | XT 5050 |
Travel Length (mm) | 25 mm | 50 mm | 25 x 25 mm | 50x 50 mm |
Trajectory Control |
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Accuracy |
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Linear Encoder | ± 1.0 μm | ± 2.0 μm | ± 2.0 μm | ± 4.0 μm |
Straightness/Flatness | ± 1.0 μm | ± 1.0 μm | ± 2.0 μm | ±2.0 μm |
Yaw/Pitch/Roll | 5 arc-sec | 5 arc-sec | 10 arc-sec | 10 arc-sec |
2 axis system |
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Orthogonality |
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Standard Grade | NA | NA | 5 arc-sec | 5 arc-sec |
High Precision | NA | NA | 2 arc-sec | 2 arc-sec |
Extra High Precision | NA | NA | 1 arc-sec | 1 arc-sec |
納米位移平臺,真空納米定位臺由進口光學(xué)精密儀器旗艦型服務(wù)商-孚光精儀進口銷售,先后為北京大學(xué),中科院上海光機所,中國工程物理研究院,航天3院,哈工大,南開,山東大學(xué)等單位提供優(yōu)質(zhì)進口的納米位移平臺,真空納米位移臺,納米位移臺.
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