復合型XY定位平臺

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產品型號：FPNUT-Metrostage
品牌：
產品類別：光學實驗設備
所在地：上海市

信息完整度：
樣本：
更新時間：2023-02-03 21:02:06
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產品標簽:

復合型XY定位平臺高精度電動XY定位臺 XY定位平臺超凈光學位移臺真空位移臺

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這款復合型XY定位平臺METROSTAGE是美國Nutec公司制造的高精度電動XY定位臺，采用了XY雙軸組合型設計，可以設計成實心頂部，也可設計成開放的框架結構，同時滿足超凈工作間和真空環境的使用要求。
XY定位平臺METROSTAGE主要特色
超薄設計,3層結構；
直線伺服或滾軸絲桿驅動系統
集成的非接觸式位置編碼器
分辨率高達1納米
內部預加載的輥導向系統
可集成伺服控制功能

這款XY定位平臺METROSTAGE采用特殊的3層結構設計，保證了zui小的形變和zui高的精度，剛度和穩定性也得到了zui大化，從而保證了XY定位平臺的支撐和完整性. 無空回（backlash-free)的預裝引導系統保證了電動XY定位臺實現平穩,低摩擦,高精度地定位,使用。

XY定位平臺應用
這款電動XY定位平臺具有廣泛的應用，比如，可用于計量和制造領域，半導體封裝,測試和制造領域，視頻檢測，微細加工，激光加工，高速加工，激光和檢測等領域。也有許多用戶把這套XY定位平臺用于顯微鏡上，替代精度不足的傳統顯微鏡載物臺。

XY定位平臺配置
行程范圍100x100mm到300x300mm
位移臺高度zui低可達60mm
開放框架或固體頂部
適合超凈間使用
真空兼容，適合真空環境使用
非磁性

XY定位平臺主要參數：
行程范圍：100x100mm, 150x150mm, 200x200mm, 300x300mm
驅動系統；步進電機,伺服電機，直線伺服電機，陶瓷伺服電機
zui大加速度：由負載決定
zui大速度：直線電機驅動：500mm/s,滾珠螺桿：250mm/s，滾柱絲杠驅動:40mm/s
zui大負載：15kg
TTL分辨率：50nm
重復精度：≤1µm
構造：鋁合金主體，灰色硬質涂層

	MS-100 ST	MS150-ST	MS200-ST	MS300-ST	MS-OFT
Travel Length (mm)	100x 100	150x 150	200x200	300x300	100x150
Trajectory Control
Accuracy
Standard Precision SP	± 7.5µm	± 10µm	± 15µm	± 20µm	± 15µ/m
High Precision HP	± 5µm	± 7.5µm	± 10µm	± 10µm	n/a
Extra High Precision XHP	± 3µm	± 4µm	± 6µm	± 6µm	n/a
Straightness/Flatness
Standard SP	± 8 µm	± 10 µm	± 12 µm	± 20 µm	± 20 µm
High Precision HP	± 3µm	± 4 µm	± 6 µm	± 10 µm	n/a
Extra High Precision XHP	± 3µm	± 4 µm	± 5 µm	± 7 µm	n/a
Yaw/Pitch/Roll
Standard SP	20 arc-sec	20 arc-sec	20 arc-sec	20 arc-sec	30 arc-sec
High Precision HP	10 arc-sec	10 arc-sec	10 arc-sec	10u arc-sec	n/a
2 axis system all
Orthogonality