（1）氫化法：通過氫化物發生（或蒸汽發生）的方式將含被測元素的氣態組分傳輸至原子化器并在氬氫火焰中原 子化后進行檢測的方法，簡稱為氫化法。（該法測試的元素種類雖少但靈敏度高，干擾少，具有很好的專屬性。）

（2）火焰法：利用霧化器將含被測元素的樣品溶液霧化形成氣溶膠后，與燃氣混合傳輸至原子化器并在燃氣火焰中原子化后進行檢測的方法，簡稱為火焰法。（該法大大拓寬了原子熒光光譜儀所能檢測元素的范圍。新增元素為金、銀、銅、鐵、鈷、鎳、鉻）

原子熒光光譜法的優點：

（1）有較低的檢出限，靈敏度高。特別對Cd、Zn等元素有相當低的檢出限，Cd可達0．001ng•cm-3、Zn為0.04ng•cm-3。現已有2O多種元素低于原子吸收光譜法的檢出限。由于原子熒光的輻射強度與激發光源成比例，采用新的高強度光源可進一步降低其檢出限。

（2）干擾較少，譜線比較簡單，采用一些裝置，可以制成非色散原子熒光分析儀。這種儀器結構簡單，價格便宜。

（3）分析校準曲線線性范圍寬，可達3～5個數量級。

（4）由于原子熒光是向空間各個方向發射的，比較容易制作多道儀器，因而能實現多元素同時測定。