真空回火爐是由真空泵、真空測量裝置、真空閥等部件利用真空系統在爐腔的特定空間內組成的真空爐，排出爐腔內的一些物質，使爐腔內的壓力小于一個標準大氣壓，爐腔內的空間處于真空狀態。

　　真空回火爐的優點

　　1.消除工件表面在加熱過程中的氧化和脫碳，獲得無變質層的潔凈表面。這與磨削時只磨削一面的刀具(如麻花鉆)切削性能的提高有很大關系，磨削后，槽面上的脫碳層直接暴露在切削刃上。

　　2.對環境無污染，無需三廢處理。

　　3.爐溫測量和監控的準確性明顯提高。熱電偶和爐溫的指示值達到1.5°c，但爐內大量工件不同部位的溫差較大，若采用稀薄氣體強制循環，仍可控制在5°c的溫差范圍內。

　　4.機電一體化程度高。在提高溫度測控精度的基礎上，可對工件運動、氣壓調節、功率調節進行預編程設定，并可分步進行淬火回火。

　　5.能耗明顯低于鹽浴爐。現代真空爐加熱室采用優質隔熱材料制成的隔熱墻和屏障，可將電熱能量集中在加熱室內，節能。

　　真空回火爐一般由主機、爐膛、電加熱裝置、密封爐殼、真空系統、供電系統、溫控系統和爐外運輸車組成。密封的爐殼用碳鋼或不銹鋼焊接，可拆卸部件的結合面用真空密封材料密封。為了防止爐殼變形和密封材料因加熱而變質，爐殼通常通過水冷或風冷來冷卻。爐膛位于密封的爐殼內。根據爐子的用途，爐子內部有不同類型的加熱元件，如電阻器、感應線圈、電極和電子槍。坩堝安裝在金屬冶煉真空爐的爐膛內，部分還裝有自動澆注裝置和裝卸物料的機械手等。真空系統主要由真空泵、真空閥和真空計組成。