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中美合資合肥科晶材料技術有限公司
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三溫區1500oC PECVD系統--O
小型PECVD管式爐系統--OTF-12
1700°C二通道混氣高真空C
1200°C二通道混氣高真空C
1200℃微型二通道混氣CVD系統-OT
帶有預熱系統的滑動PECVD-- OTF
1200℃單溫區三通道混氣CVD系統-O
1700℃單溫區三通道混氣CVD系統-G
雙溫區開啟式真空管式爐 (管徑80mm,
OTF-1100X11Z3LV CVD
小型滑動PECVD管式爐系統--OTF-
4路質子混氣管式PECVD系統-OTF-
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