產品簡介
OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸發管式爐，專門針對于用PVD或CSS法來制作薄膜。此款管式爐爐管直徑為11" OD，爐管內載樣盤可放置3" 的圓形或2"x2"的方形基片。加熱元件為兩組紅外燈管，分別安裝在腔體的頂端和底部，其升溫速率高達20?C/S 。溫控系統為PID30段程序化控制，控溫精度為+/-1?C。儀器面板上帶有RS485接口，若儀表內配有控溫軟件，就可將升溫程序和曲線導出
詳情介紹
技術參數
真空腔體 | - 腔體為一高純石英管
- 尺寸： 11" OD x 10.8"ID x 9" H
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真空法蘭 | - 真空法蘭材質為316不銹鋼制作
- 頂部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的出氣口
- 底部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的進氣口
- 法蘭是通過兩個硅膠O型圈進行密封，通過機械泵其腔體內真空度可達10-2 torr，用分子泵其真空度可達到10-5 torr
- 兩個法蘭都可以通過手動操作進行上下移動
- 一個數字式真空顯示計安裝在法蘭頂部，可精確測量腔體內真空度
  （點擊圖片查看詳細資料） |
混氣系統 | 可以選擇兩路的混氣系統于此款管式爐搭配使用（本公司生產多路浮子和多路質子混氣系統）
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加熱元件和載樣臺 | - 由兩組IR紅外燈管進行加熱
- 額定功率800 W 總功率：1600W
- 為了減小熱輻射和達到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷機構上
- 一個3"的基片載樣臺安裝腔體頂部
- 緊貼頂部加熱元件上安裝有一氮化鋁基片（3"Dia x0.5mm Thick ），使其儀器使用時樣品基片上的溫度更加均勻
- 3"的石墨坩堝可以放在底部加熱元件上來盛裝蒸發料
 
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熱電偶
| 兩個K型熱電偶分別安裝在上下法蘭上 |
溫控系統 | - 兩個控溫系統都為PID30段程序化控溫
- 可以選購PC控溫軟件，將溫度程序設置和溫度曲線導入電腦中
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工作溫度 | - 兩個加熱區域單獨工作的zui高溫度： <= 650ºC
- 兩個加熱區域zui大溫差: <= 350 ºC
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加熱和冷卻速率 | - 加熱速率: > 8 ºC /S
- 冷卻速率: > 10 ºC /S ( 600 - 100oC)
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電源 | 208 - 240VAC, 單相, （需20A的空氣開關） |
可選配件 | 本公司出售真空泵和水冷系統   |
質保期 | 一年質保期 (不包括爐管、密封圈和加熱元件損耗件 ) |
| 質量認證 |  CE
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| 相關文獻 | - Please read article: High efficiency CSS CdTe Solar Cell
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